LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1958`	分子泵-J277	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1966`	线缆束-J285	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1990`	直线导轨滑块-K210	539	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1998`	滤光片-K218	251	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2022`	接线端子-K242	276	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2023`	接插件-K243	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2030`	安全阀-K250	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2054`	偏振片-L274	478	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2056`	光纤跳线-L276	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2062`	压力传感器-L282	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2086`	遮光板-L207	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2089`	限位开关-L210	125	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2094`	密封O圈-M215	398	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2118`	位移传感器-M239	431	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2122`	真空密封圈-M243	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2126`	冷却盘管-M247	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2150`	定位销-N271	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2155`	直线导轨滑块-N276	122	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2158`	编码器-N279	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2182`	散热翅片-N204	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2188`	接插件-N210	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2190`	伺服控制板-N212	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2214`	联轴器-O236	154	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2221`	光纤跳线-O243	237	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2222`	准直透镜-O244	471	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2246`	气浮节流孔-O268	376	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2254`	限位开关-O276	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2286`	真空波纹管-P209	116	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2287`	真空密封圈-P210	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2310`	防尘罩-P233	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2318`	角接触轴承-Q241	172	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2320`	直线导轨滑块-Q243	215	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2342`	真空密封圈-Q265	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2350`	储液罐-Q273	223	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2353`	接插件-Q276	110	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2374`	交叉滚子导轨-R297	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2382`	分光镜-R206	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2386`	光纤跳线-R210	144	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2406`	线缆束-R230	419	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2414`	减压阀-R238	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2419`	限位开关-R243	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2438`	滤光片-S262	303	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2446`	温度探头-S270	313	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2452`	真空密封圈-S276	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2470`	安全阀-S294	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2478`	调整垫片-T203	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2485`	直线导轨滑块-T210	578	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2502`	压力传感器-T227	228	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2510`	冷阱-T235	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2518`	接插件-T243	426	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2534`	密封O圈-U259	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2551`	光纤跳线-U276	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2566`	冷却盘管-U291	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2574`	信号调理板-U299	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2584`	限位开关-U210	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2598`	编码器-V224	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2606`	光纤跳线-V232	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2617`	真空密封圈-V243	183	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2630`	伺服控制板-V256	212	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2638`	挡块-V264	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2650`	直线导轨滑块-W276	503	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2662`	准直透镜-W288	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2670`	加速度计-W296	253	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2683`	接插件-W210	65	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2694`	限位开关-W221	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2702`	深沟球轴承-X229	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2716`	光纤跳线-X243	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2726`	真空波纹管-X253	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2734`	流量计-X261	379	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2758`	角接触轴承-Y285	202	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2766`	反射镜片-Y293	179	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2782`	真空密封圈-Y210	151	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2790`	储液罐-Y218	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2798`	压力表-Y226	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2814`	交叉滚子导轨-Z242	132	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2822`	分光镜-Z250	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2830`	保护窗-Z258	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2846`	线缆束-Z274	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2854`	减压阀-Z282	85	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2862`	锁紧螺母-A390	251	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2878`	滤光片-A307	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2886`	温度探头-A315	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2894`	干泵-A323	192	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2910`	安全阀-A339	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2918`	调整垫片-B347	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2926`	伺服电机-B355	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2942`	压力传感器-B371	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2950`	冷阱-B379	229	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2958`	接插件-B387	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2974`	密封O圈-C304	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2982`	步进电机-C312	190	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2990`	波片-C320	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0007`	深沟球轴承-A107	432	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0011`	伺服电机-A111	475	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0015`	同步带轮-A115	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0023`	聚焦透镜-A123	448	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0039`	流量计-A139	374	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0044`	信号调理板-A144	478	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0047`	节流阀-A147	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0055`	防尘罩-A155	359	`C1520` 调平地脚-1520	A