LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0806`	冷却盘管-O114	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0814`	信号调理板-O122	485	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0835`	直线导轨滑块-P143	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0838`	编码器-P146	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0846`	光纤跳线-P154	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0868`	接插件-P176	164	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0870`	伺服控制板-P178	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0878`	挡块-P186	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0902`	准直透镜-Q111	461	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0910`	加速度计-Q119	118	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0934`	限位开关-Q143	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0942`	深沟球轴承-R151	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0966`	真空波纹管-R175	488	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0967`	真空密封圈-R176	111	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0974`	流量计-R183	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0998`	角接触轴承-S108	106	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1000`	直线导轨滑块-S110	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1006`	反射镜片-S116	45	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1030`	储液罐-S140	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1033`	接插件-S143	220	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1038`	压力表-S148	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1062`	分光镜-T172	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1066`	光纤跳线-T176	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1070`	保护窗-T180	232	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1094`	减压阀-T105	128	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1099`	限位开关-T110	438	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1102`	锁紧螺母-U113	394	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1126`	温度探头-U137	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1132`	真空密封圈-U143	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1134`	干泵-U145	378	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1158`	调整垫片-V169	80	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1165`	直线导轨滑块-V176	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1166`	伺服电机-V177	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1190`	冷阱-V102	397	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1198`	接插件-V110	240	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1230`	波片-W142	252	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1231`	光纤跳线-W143	167	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1254`	信号调理板-W166	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1262`	光阑-W174	476	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1264`	限位开关-W176	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1286`	光纤跳线-X198	455	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1294`	力传感器-X107	217	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1297`	真空密封圈-X110	85	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1318`	挡块-X131	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1326`	轴承套-Y139	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1330`	直线导轨滑块-Y143	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1350`	加速度计-Y163	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1358`	温控阀-Y171	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1363`	接插件-Y176	138	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1382`	深沟球轴承-Z195	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1390`	同步带轮-Z104	358	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1396`	光纤跳线-Z110	300	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1414`	流量计-Z128	462	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1422`	节流阀-Z136	378	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1429`	限位开关-Z143	139	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1446`	反射镜片-A260	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1454`	场镜-A268	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1462`	真空密封圈-A276	378	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1478`	压力表-A292	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1495`	直线导轨滑块-B210	344	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1510`	保护窗-B225	394	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1518`	分子泵-B233	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1528`	接插件-B243	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1542`	锁紧螺母-C257	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1550`	直线导轨滑块-C265	531	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1561`	光纤跳线-C276	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1574`	干泵-C289	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1582`	接线端子-C297	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1594`	限位开关-C210	512	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1606`	伺服电机-D222	74	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1614`	偏振片-D230	427	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1627`	真空密封圈-D243	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1638`	接插件-D254	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1646`	遮光板-D262	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1660`	直线导轨滑块-E276	307	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1670`	波片-E286	217	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1678`	位移传感器-E294	463	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1702`	光阑-E219	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1710`	定位销-F227	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1726`	光纤跳线-F243	269	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1734`	力传感器-F251	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1742`	散热翅片-F259	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1759`	限位开关-F276	448	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1766`	轴承套-G283	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1774`	联轴器-G291	180	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1792`	真空密封圈-G210	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1798`	温控阀-G216	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1806`	气浮节流孔-G224	230	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1825`	直线导轨滑块-H243	449	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1830`	同步带轮-H248	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1838`	聚焦透镜-H256	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1858`	接插件-H276	237	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1862`	节流阀-H280	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1870`	防尘罩-H288	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1891`	光纤跳线-I210	441	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1894`	场镜-I213	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1902`	真空密封圈-I221	157	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1924`	限位开关-I243	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1926`	高精度螺栓-J245	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1934`	交叉滚子导轨-J253	353	`C1520` 调平地脚-1520	A