外部 BOM 数据集
LITHO-001 · 光刻机整机
20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行
| 层级 | 物料编号 | 物料名称 | 数量 | 单位 | BOM编号 | 项目号 | 损耗率 | 父级物料 | 版本 | 操作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L3 | P2901 |
线缆束-A330 | 352 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2909 |
减压阀-A338 | 385 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2917 |
锁紧螺母-B346 | 387 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2933 |
滤光片-B362 | 313 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2941 |
温度探头-B370 | 177 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2949 |
干泵-B378 | 330 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2965 |
安全阀-B394 | 418 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2973 |
调整垫片-C303 | 265 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2981 |
伺服电机-C311 | 349 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2997 |
压力传感器-C327 | 295 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0006 |
轴承套-A106 | 356 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0010 |
直线导轨滑块-A110 | 301 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0014 |
联轴器-A114 | 291 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0022 |
准直透镜-A122 | 439 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0038 |
温控阀-A138 | 221 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0043 |
接插件-A143 | 462 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0046 |
气浮节流孔-A146 | 274 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0054 |
限位开关-A154 | 357 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0070 |
同步带轮-B170 | 325 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0076 |
光纤跳线-B176 | 342 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0078 |
聚焦透镜-B178 | 86 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0086 |
真空波纹管-B186 | 324 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0102 |
节流阀-B103 | 186 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0110 |
防尘罩-B111 | 485 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0118 |
角接触轴承-C119 | 414 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0134 |
场镜-C135 | 487 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0142 |
真空密封圈-C143 | 395 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0150 |
储液罐-C151 | 483 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0174 |
交叉滚子导轨-D175 | 379 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0175 |
直线导轨滑块-D176 | 335 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0182 |
分光镜-D183 | 523 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0198 |
分子泵-D199 | 402 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0206 |
线缆束-D108 | 415 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0208 |
接插件-D110 | 277 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0214 |
减压阀-D116 | 569 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0230 |
直线导轨滑块-E132 | 393 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0238 |
滤光片-E140 | 389 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0241 |
光纤跳线-E143 | 404 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0246 |
温度探头-E148 | 408 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0262 |
接线端子-E164 | 354 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0270 |
安全阀-E172 | 485 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0274 |
限位开关-E176 | 483 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0278 |
调整垫片-F180 | 465 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0294 |
偏振片-F196 | 380 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0302 |
压力传感器-F105 | 287 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0307 |
真空密封圈-F110 | 522 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0310 |
冷阱-F113 | 542 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0326 |
遮光板-F129 | 54 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0334 |
密封O圈-G137 | 423 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0340 |
直线导轨滑块-G143 | 282 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0342 |
步进电机-G145 | 668 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0358 |
位移传感器-G161 | 206 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0366 |
冷却盘管-G169 | 343 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0373 |
接插件-G176 | 396 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0374 |
信号调理板-G177 | 359 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0390 |
定位销-H193 | 356 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0398 |
编码器-H102 | 511 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0406 |
光纤跳线-H110 | 467 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0422 |
散热翅片-H126 | 559 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0438 |
挡块-H142 | 586 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0439 |
限位开关-H143 | 484 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0454 |
联轴器-I158 | 319 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0462 |
准直透镜-I166 | 407 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0470 |
加速度计-I174 | 509 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0472 |
真空密封圈-I176 | 390 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0486 |
气浮节流孔-I190 | 439 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0494 |
限位开关-I198 | 361 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0502 |
深沟球轴承-J107 | 381 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0505 |
直线导轨滑块-J110 | 437 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0518 |
聚焦透镜-J123 | 489 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0526 |
真空波纹管-J131 | 366 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0534 |
流量计-J139 | 234 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0538 |
接插件-J143 | 383 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0550 |
防尘罩-J155 | 495 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0558 |
角接触轴承-K163 | 251 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0566 |
反射镜片-K171 | 412 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0571 |
光纤跳线-K176 | 563 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0582 |
真空密封圈-K187 | 320 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0590 |
储液罐-K195 | 412 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0598 |
压力表-K104 | 576 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0604 |
限位开关-K110 | 638 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0614 |
交叉滚子导轨-L120 | 322 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0622 |
分光镜-L128 | 432 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0630 |
保护窗-L136 | 403 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0646 |
线缆束-L152 | 275 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0654 |
减压阀-L160 | 574 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0662 |
锁紧螺母-M168 | 424 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0670 |
直线导轨滑块-M176 | 463 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0678 |
滤光片-M184 | 223 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0686 |
温度探头-M192 | 242 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0703 |
接插件-M110 | 484 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0710 |
安全阀-M117 | 414 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0718 |
调整垫片-N125 | 307 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0736 |
光纤跳线-N143 | 268 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0742 |
压力传感器-N149 | 263 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0750 |
冷阱-N157 | 276 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0769 |
限位开关-N176 | 253 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0774 |
密封O圈-O181 | 300 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0782 |
步进电机-O189 | 379 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0802 |
真空密封圈-O110 | 264 | C1520 调平地脚-1520 | A |