LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1797`	散热翅片-G215	156	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1816`	高精度螺栓-H234	466	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1821`	轴承套-H239	190	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1829`	联轴器-H247	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1849`	干泵-H267	224	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1853`	温控阀-H271	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1861`	气浮节流孔-H279	419	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1882`	步进电机-I201	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1885`	同步带轮-I204	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1893`	聚焦透镜-I212	344	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1915`	伺服控制板-I234	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1917`	节流阀-I236	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1925`	防尘罩-I244	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1948`	聚焦透镜-J267	238	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1949`	场镜-J268	435	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1957`	真空密封圈-J276	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1981`	高精度螺栓-K201	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1989`	交叉滚子导轨-K209	220	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2013`	分子泵-K233	51	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2014`	干泵-K234	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2021`	线缆束-K241	436	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2045`	直线导轨滑块-L265	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2047`	步进电机-L267	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2053`	滤光片-L273	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2077`	接线端子-L297	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2080`	伺服控制板-L201	463	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2085`	安全阀-L206	337	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2109`	偏振片-M230	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2113`	聚焦透镜-M234	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2117`	压力传感器-M238	490	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2141`	遮光板-M262	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2146`	高精度螺栓-N267	375	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2149`	密封O圈-N270	165	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2173`	位移传感器-N294	178	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2179`	干泵-N201	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2181`	冷却盘管-N203	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2205`	定位销-O227	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2212`	步进电机-O234	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2213`	编码器-O235	433	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2237`	散热翅片-O259	313	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2245`	伺服控制板-O267	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2269`	联轴器-P291	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2277`	准直透镜-P299	60	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2278`	聚焦透镜-P201	357	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2301`	气浮节流孔-P224	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2309`	限位开关-P232	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2311`	高精度螺栓-Q234	218	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2333`	聚焦透镜-Q256	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2341`	真空波纹管-Q264	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2344`	干泵-Q267	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2365`	防尘罩-Q288	421	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2373`	角接触轴承-R296	307	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2377`	步进电机-R201	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2397`	真空密封圈-R221	188	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2405`	储液罐-R229	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2410`	伺服控制板-R234	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2429`	交叉滚子导轨-S253	123	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2437`	分光镜-S261	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2443`	聚焦透镜-S267	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2461`	线缆束-S285	523	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2469`	减压阀-S293	227	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2476`	高精度螺栓-T201	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2493`	滤光片-T218	179	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2501`	温度探头-T226	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2509`	干泵-T234	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2525`	安全阀-T250	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2533`	调整垫片-U258	228	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2542`	步进电机-U267	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2557`	压力传感器-U282	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2565`	冷阱-U290	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2575`	伺服控制板-U201	141	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2589`	密封O圈-V215	303	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2597`	步进电机-V223	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2608`	聚焦透镜-V234	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2621`	冷却盘管-V247	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2629`	信号调理板-V255	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2641`	高精度螺栓-W267	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2653`	编码器-W279	535	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2661`	光纤跳线-W287	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2674`	干泵-W201	344	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2685`	伺服控制板-W212	432	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2693`	挡块-W220	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2707`	步进电机-X234	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2717`	准直透镜-X244	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2725`	加速度计-X252	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2740`	伺服控制板-X267	395	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2749`	限位开关-X276	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2757`	深沟球轴承-Y284	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2773`	聚焦透镜-Y201	252	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2781`	真空波纹管-Y209	472	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2789`	流量计-Y217	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2805`	防尘罩-Y233	427	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2813`	角接触轴承-Z241	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2821`	反射镜片-Z249	366	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2837`	真空密封圈-Z265	134	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2845`	储液罐-Z273	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2853`	压力表-Z281	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2869`	交叉滚子导轨-A397	580	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2877`	分光镜-A306	202	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2885`	保护窗-A314	292	`C1520` 调平地脚-1520	A