LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0701`	线缆束-M108	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0709`	减压阀-M116	397	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0727`	步进电机-N134	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0733`	滤光片-N140	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0741`	温度探头-N148	279	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0760`	伺服控制板-N167	448	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0765`	安全阀-N172	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0773`	调整垫片-O180	398	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0793`	聚焦透镜-O101	212	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0797`	压力传感器-O105	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0805`	冷阱-O113	221	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0826`	高精度螺栓-P134	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0829`	密封O圈-P137	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0837`	步进电机-P145	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0859`	干泵-P167	428	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0861`	冷却盘管-P169	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0869`	信号调理板-P177	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0892`	步进电机-Q101	407	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0893`	编码器-Q102	214	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0901`	光纤跳线-Q110	453	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0925`	伺服控制板-Q134	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0933`	挡块-Q142	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0957`	准直透镜-R166	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0958`	聚焦透镜-R167	479	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0965`	加速度计-R174	464	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0989`	限位开关-R198	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0991`	高精度螺栓-S101	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0997`	深沟球轴承-S107	146	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1021`	真空波纹管-S131	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1024`	干泵-S134	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1029`	流量计-S139	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1053`	角接触轴承-T163	493	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1057`	步进电机-T167	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1061`	反射镜片-T171	319	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1085`	储液罐-T195	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1090`	伺服控制板-T101	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1093`	压力表-T104	202	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1117`	分光镜-U128	269	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1123`	聚焦透镜-U134	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1125`	保护窗-U136	169	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1149`	减压阀-U160	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1156`	高精度螺栓-V167	214	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1157`	锁紧螺母-V168	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1181`	温度探头-V192	243	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1189`	干泵-V101	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1213`	调整垫片-W125	434	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1221`	伺服电机-W133	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1222`	步进电机-W134	322	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1245`	冷阱-W157	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1253`	接插件-W165	291	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1255`	伺服控制板-W167	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1277`	步进电机-X189	379	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1285`	波片-X197	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1288`	聚焦透镜-X101	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1309`	信号调理板-X122	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1317`	光阑-X130	131	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1321`	高精度螺栓-Y134	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1341`	光纤跳线-Y154	186	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1349`	力传感器-Y162	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1354`	干泵-Y167	190	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1373`	挡块-Y186	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1381`	轴承套-Z194	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1387`	步进电机-Z101	172	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1405`	加速度计-Z119	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1413`	温控阀-Z127	243	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1420`	伺服控制板-Z134	75	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1437`	深沟球轴承-A251	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1445`	同步带轮-A259	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1453`	聚焦透镜-A267	80	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1469`	流量计-A283	449	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1477`	节流阀-A291	161	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1486`	高精度螺栓-B201	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1501`	反射镜片-B216	230	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1509`	场镜-B224	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1519`	干泵-B234	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1533`	压力表-B248	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1541`	高精度螺栓-C256	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1552`	步进电机-C267	168	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1565`	保护窗-C280	284	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1573`	分子泵-C288	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1585`	伺服控制板-C201	219	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1597`	锁紧螺母-D213	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1605`	直线导轨滑块-D221	446	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1618`	聚焦透镜-D234	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1629`	干泵-D245	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1637`	接线端子-D253	368	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1651`	高精度螺栓-E267	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1661`	伺服电机-E277	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1669`	偏振片-E285	215	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1684`	干泵-E201	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1693`	接插件-E210	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1701`	遮光板-E218	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1717`	步进电机-F234	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1725`	波片-F242	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1733`	位移传感器-F250	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1750`	伺服控制板-F267	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1757`	光阑-F274	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1765`	定位销-G282	530	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1783`	聚焦透镜-G201	102	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1789`	力传感器-G207	343	`C1520` 调平地脚-1520	A