LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L2	`C1508`	真空泵组-1508	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0109`	光栅测尺-109	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0209`	主物镜组-209	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0309`	补偿镜组-309	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0409`	投影镜头壳体-409	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0509`	直线电机-509	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0609`	工件台基座-609	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0709`	掩模夹具-709	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0809`	晶圆夹具-809	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0909`	Z向微调台-909	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1009`	浸液回收器-1009	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1109`	水处理单元-1109	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1209`	干涉仪-1209	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1309`	标定基准板-1309	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1409`	图像采集相机-1409	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1509`	真空腔体-1509	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L3	`P0001`	高精度螺栓-A101	577	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0005`	定位销-A105	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0013`	编码器-A113	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0029`	力传感器-A129	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0034`	干泵-A134	506	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0037`	散热翅片-A137	673	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0045`	伺服控制板-A145	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0061`	轴承套-B161	461	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0067`	步进电机-B167	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0069`	联轴器-B169	512	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0077`	准直透镜-B177	366	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0093`	温控阀-B193	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0100`	伺服控制板-B101	398	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0101`	气浮节流孔-B102	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0109`	限位开关-B110	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0125`	同步带轮-C126	610	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0133`	聚焦透镜-C134	634	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0141`	真空波纹管-C142	461	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0157`	节流阀-C158	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0165`	防尘罩-C166	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0166`	高精度螺栓-D167	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0173`	角接触轴承-D174	548	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0189`	场镜-D190	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0197`	真空密封圈-D198	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0199`	干泵-D101	224	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0205`	储液罐-D107	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0221`	高精度螺栓-E123	435	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0229`	交叉滚子导轨-E131	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0232`	步进电机-E134	235	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0237`	分光镜-E139	663	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0253`	分子泵-E155	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0261`	线缆束-E163	582	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0265`	伺服控制板-E167	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0269`	减压阀-E171	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0285`	直线导轨滑块-F187	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0293`	滤光片-F195	529	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0298`	聚焦透镜-F101	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0301`	温度探头-F104	695	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0317`	接线端子-F120	566	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0325`	安全阀-F128	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0331`	高精度螺栓-G134	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0333`	调整垫片-G136	507	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0349`	偏振片-G152	407	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0357`	压力传感器-G160	395	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0364`	干泵-G167	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0365`	冷阱-G168	219	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0381`	遮光板-G184	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0389`	密封O圈-H192	435	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0397`	步进电机-H101	220	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0413`	位移传感器-H117	377	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0421`	冷却盘管-H125	291	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0429`	信号调理板-H133	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0430`	伺服控制板-H134	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0445`	定位销-I149	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0453`	编码器-I157	580	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0461`	光纤跳线-I165	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0463`	聚焦透镜-I167	535	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0477`	散热翅片-I181	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0485`	伺服控制板-I189	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0493`	挡块-I197	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0496`	高精度螺栓-J101	407	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0509`	联轴器-J114	370	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0517`	准直透镜-J122	332	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0525`	加速度计-J130	524	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0529`	干泵-J134	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0541`	气浮节流孔-J146	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0549`	限位开关-J154	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0557`	深沟球轴承-K162	496	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0562`	步进电机-K167	150	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0573`	聚焦透镜-K178	499	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0581`	真空波纹管-K186	351	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0589`	流量计-K194	532	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0595`	伺服控制板-K101	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0605`	防尘罩-K111	504	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0613`	角接触轴承-L119	412	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0621`	反射镜片-L127	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0628`	聚焦透镜-L134	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0637`	真空密封圈-L143	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0645`	储液罐-L151	195	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0653`	压力表-L159	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0661`	高精度螺栓-M167	536	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0669`	交叉滚子导轨-M175	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0677`	分光镜-M183	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0694`	干泵-M101	266	`C1520` 调平地脚-1520	A