外部 BOM 数据集
LITHO-001 · 光刻机整机
20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行
| 层级 | 物料编号 | 物料名称 | 数量 | 单位 | BOM编号 | 项目号 | 损耗率 | 父级物料 | 版本 | 操作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L3 | P1282 |
分光镜-X194 | 249 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1315 |
安全阀-X128 | 102 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1348 |
位移传感器-Y161 | 363 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1824 |
交叉滚子导轨-H242 | 388 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1856 |
线缆束-H274 | 265 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1888 |
滤光片-I207 | 247 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1920 |
安全阀-I239 | 107 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1952 |
压力传感器-J271 | 160 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1984 |
密封O圈-K204 | 327 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2016 |
冷却盘管-K236 | 293 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2112 |
准直透镜-M233 | 358 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2144 |
限位开关-M265 | 552 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2176 |
真空波纹管-N297 | 300 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2208 |
角接触轴承-O230 | 332 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2240 |
储液罐-O262 | 349 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2272 |
分光镜-P294 | 373 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2305 |
安全阀-P228 | 253 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2338 |
位移传感器-Q261 | 406 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2371 |
轴承套-R294 | 340 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2404 |
流量计-R228 | 265 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0801 |
真空波纹管-O109 | 399 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0833 |
角接触轴承-P141 | 329 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0865 |
储液罐-P173 | 251 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0897 |
分光镜-Q106 | 402 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0929 |
减压阀-Q138 | 374 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0961 |
温度探头-R170 | 509 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0993 |
调整垫片-S103 | 252 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1089 |
信号调理板-T199 | 391 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1121 |
光纤跳线-U132 | 239 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1153 |
挡块-U164 | 385 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1185 |
加速度计-V196 | 339 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1217 |
深沟球轴承-W129 | 370 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1250 |
储液罐-W162 | 349 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1283 |
滤光片-X195 | 455 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1316 |
遮光板-X129 | 351 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1857 |
接线端子-H275 | 290 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1889 |
偏振片-I208 | 278 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1921 |
遮光板-I240 | 434 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1953 |
位移传感器-J272 | 427 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1985 |
定位销-K205 | 266 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2017 |
散热翅片-K237 | 196 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2049 |
联轴器-L269 | 271 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2145 |
防尘罩-M266 | 303 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2177 |
真空密封圈-N298 | 428 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2209 |
交叉滚子导轨-O231 | 416 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2241 |
线缆束-O263 | 180 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2273 |
滤光片-P295 | 158 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2306 |
遮光板-P229 | 379 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2339 |
力传感器-Q262 | 317 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2372 |
深沟球轴承-R295 | 216 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1026 |
冷却盘管-S136 | 191 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1059 |
联轴器-T169 | 259 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1092 |
节流阀-T103 | 395 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2082 |
节流阀-L203 | 469 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2115 |
保护窗-M236 | 407 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2148 |
调整垫片-N269 | 349 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0834 |
交叉滚子导轨-P142 | 442 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0866 |
线缆束-P174 | 435 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0898 |
滤光片-Q107 | 379 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0930 |
安全阀-Q139 | 195 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0962 |
压力传感器-R171 | 240 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0994 |
密封O圈-S104 | 389 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1122 |
准直透镜-U133 | 263 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1154 |
限位开关-U165 | 522 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1186 |
真空波纹管-V197 | 243 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1218 |
角接触轴承-W130 | 298 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1251 |
线缆束-W163 | 497 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1284 |
偏振片-X196 | 466 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1890 |
波片-I209 | 431 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1922 |
光阑-I241 | 198 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1954 |
力传感器-J273 | 188 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1986 |
轴承套-K206 | 211 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2018 |
温控阀-K238 | 271 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2050 |
同步带轮-L270 | 249 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2178 |
分子泵-N299 | 100 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2210 |
直线导轨滑块-O232 | 318 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2242 |
接线端子-O264 | 53 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2274 |
偏振片-P296 | 413 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2307 |
光阑-P230 | 151 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2340 |
加速度计-Q263 | 194 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0867 |
接线端子-P175 | 286 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0899 |
偏振片-Q108 | 465 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0931 |
遮光板-Q140 | 294 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0963 |
位移传感器-R172 | 257 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0995 |
定位销-S105 | 432 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1027 |
散热翅片-S137 | 236 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1155 |
防尘罩-U166 | 293 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1187 |
真空密封圈-V198 | 262 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1219 |
交叉滚子导轨-W131 | 252 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1252 |
接线端子-W164 | 223 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1923 |
挡块-I242 | 438 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1955 |
加速度计-J274 | 334 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1987 |
深沟球轴承-K207 | 283 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2019 |
流量计-K239 | 231 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2051 |
反射镜片-L271 | 263 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2083 |
压力表-L204 | 191 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2211 |
伺服电机-O233 | 293 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2243 |
接插件-O265 | 231 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2275 |
波片-P297 | 361 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2308 |
挡块-P231 | 230 | C1520 调平地脚-1520 | A |