LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1980`	防尘罩-J299	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2012`	真空密封圈-K232	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2044`	交叉滚子导轨-L264	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2076`	线缆束-L296	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2108`	滤光片-M229	402	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2140`	安全阀-M261	181	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2172`	压力传感器-N293	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2204`	密封O圈-O226	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2236`	冷却盘管-O258	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2268`	编码器-P290	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2367`	锁紧螺母-R290	98	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2400`	冷阱-R224	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2433`	编码器-S257	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2466`	气浮节流孔-S290	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2499`	场镜-T224	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2532`	锁紧螺母-U257	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2748`	挡块-X275	223	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2780`	加速度计-Y208	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2812`	深沟球轴承-Z240	135	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2844`	流量计-Z272	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2876`	反射镜片-A305	474	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2908`	压力表-A337	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2940`	保护窗-B369	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2972`	锁紧螺母-C302	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1279`	联轴器-X191	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1312`	节流阀-X125	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1345`	保护窗-Y158	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1378`	调整垫片-Z191	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1411`	冷却盘管-Z125	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1444`	联轴器-A258	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2335`	保护窗-Q258	240	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2368`	调整垫片-R291	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2401`	冷却盘管-R225	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2434`	联轴器-S258	82	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2467`	节流阀-S291	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2500`	保护窗-T225	444	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1247`	散热翅片-W159	337	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1280`	同步带轮-X192	179	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1313`	压力表-X126	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1346`	温度探头-Y159	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1379`	密封O圈-Z192	140	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1412`	散热翅片-Z126	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2303`	压力表-P226	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2336`	温度探头-Q259	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2369`	密封O圈-R292	218	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2402`	散热翅片-R226	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2435`	同步带轮-S259	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2468`	压力表-S292	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0735`	波片-N142	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0767`	光阑-N174	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0799`	力传感器-O107	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0831`	轴承套-P139	267	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0863`	温控阀-P171	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0895`	同步带轮-Q104	178	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0927`	节流阀-Q136	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1023`	分子泵-S133	351	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1055`	直线导轨滑块-T165	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1087`	接线端子-T197	96	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1119`	偏振片-U130	235	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1151`	遮光板-U162	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1183`	位移传感器-V194	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1215`	定位销-W127	307	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1248`	温控阀-W160	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1281`	反射镜片-X193	313	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1314`	减压阀-X127	171	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1347`	压力传感器-Y160	549	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1380`	定位销-Z193	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1791`	真空波纹管-G209	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1823`	角接触轴承-H241	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1855`	储液罐-H273	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1887`	分光镜-I206	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1919`	减压阀-I238	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1951`	温度探头-J270	225	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1983`	调整垫片-K203	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2079`	信号调理板-L299	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2111`	光纤跳线-M232	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2143`	挡块-M264	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2175`	加速度计-N296	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2207`	深沟球轴承-O229	217	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2239`	流量计-O261	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2271`	反射镜片-P293	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2304`	减压阀-P227	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2337`	压力传感器-Q260	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2370`	定位销-R293	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2403`	温控阀-R227	368	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2436`	反射镜片-S260	432	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0768`	挡块-N175	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0800`	加速度计-O108	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0832`	深沟球轴承-P140	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0864`	流量计-P172	435	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0896`	反射镜片-Q105	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0928`	压力表-Q137	402	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0960`	保护窗-R169	258	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1056`	伺服电机-T166	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1088`	接插件-T198	171	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1120`	波片-U131	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1152`	光阑-U163	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1184`	力传感器-V195	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1216`	轴承套-W128	394	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1249`	流量计-W161	321	`C1520` 调平地脚-1520	A