LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0355`	保护窗-G158	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0387`	锁紧螺母-H190	494	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0419`	干泵-H123	538	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0452`	步进电机-I156	510	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0699`	流量计-M106	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0731`	反射镜片-N138	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0763`	压力表-N170	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0795`	保护窗-O103	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0891`	伺服电机-Q199	138	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0923`	接插件-Q132	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0955`	波片-R164	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0987`	光阑-R196	354	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1019`	力传感器-S129	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1051`	轴承套-T161	100	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1083`	温控阀-T193	526	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1115`	同步带轮-U126	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1147`	节流阀-U158	303	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1179`	场镜-V190	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1211`	高精度螺栓-W123	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1244`	干泵-W156	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1343`	聚焦透镜-Y156	289	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1376`	高精度螺栓-Z189	166	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1409`	干泵-Z123	258	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1442`	步进电机-A256	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1475`	伺服控制板-A289	457	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1508`	聚焦透镜-B223	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1659`	交叉滚子导轨-E275	370	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1691`	线缆束-E208	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1723`	滤光片-F240	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1755`	安全阀-F272	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1787`	压力传感器-G205	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1819`	密封O圈-H237	156	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1851`	冷却盘管-H269	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1947`	准直透镜-J266	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1979`	限位开关-J298	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2011`	真空波纹管-K231	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2043`	角接触轴承-L263	284	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2075`	储液罐-L295	136	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2107`	分光镜-M228	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2139`	减压阀-M260	471	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2171`	温度探头-N292	198	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2203`	调整垫片-O225	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2235`	冷阱-O257	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2267`	步进电机-P289	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2300`	伺服控制板-P223	420	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2399`	干泵-R223	224	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2432`	步进电机-S256	440	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2465`	伺服控制板-S289	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2498`	聚焦透镜-T223	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2531`	高精度螺栓-U256	322	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2564`	干泵-U289	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2715`	波片-X242	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2747`	光阑-X274	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2779`	力传感器-Y207	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2811`	轴承套-Z239	479	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2843`	温控阀-Z271	113	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2875`	同步带轮-A304	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2907`	节流阀-A336	61	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2939`	场镜-B368	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2971`	高精度螺栓-C301	354	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0004`	密封O圈-A104	456	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0036`	冷却盘管-A136	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0132`	准直透镜-C133	623	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0164`	限位开关-C165	392	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0196`	真空波纹管-D197	339	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0228`	角接触轴承-E130	430	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0260`	储液罐-E162	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0292`	分光镜-F194	491	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0324`	减压阀-F127	629	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0356`	温度探头-G159	459	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0388`	调整垫片-H191	566	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0420`	冷阱-H124	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0700`	储液罐-M107	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0732`	分光镜-N139	157	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0764`	减压阀-N171	300	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0796`	温度探头-O104	119	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0828`	调整垫片-P136	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0924`	信号调理板-Q133	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0956`	光纤跳线-R165	167	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0988`	挡块-R197	316	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1020`	加速度计-S130	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1052`	深沟球轴承-T162	433	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1084`	流量计-T194	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1116`	反射镜片-U127	515	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1148`	压力表-U159	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1180`	保护窗-V191	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1212`	锁紧螺母-W124	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1311`	气浮节流孔-X124	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1344`	场镜-Y157	137	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1377`	锁紧螺母-Z190	491	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1410`	冷阱-Z124	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1443`	编码器-A257	392	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1476`	气浮节流孔-A290	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1692`	接线端子-E209	191	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1724`	偏振片-F241	219	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1756`	遮光板-F273	188	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1788`	位移传感器-G206	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1820`	定位销-H238	214	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1852`	散热翅片-H270	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1884`	联轴器-I203	387	`C1520` 调平地脚-1520	A