LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P2463`	接插件-S287	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2496`	光纤跳线-T221	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2529`	限位开关-T254	279	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2562`	真空密封圈-U287	158	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2595`	直线导轨滑块-V221	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2628`	接插件-V254	182	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2649`	交叉滚子导轨-W275	189	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2681`	线缆束-W208	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2713`	滤光片-X240	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2745`	安全阀-X272	195	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2777`	压力传感器-Y205	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2809`	密封O圈-Z237	240	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2841`	冷却盘管-Z269	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2873`	编码器-A302	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2905`	伺服控制板-A334	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2937`	准直透镜-B366	123	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2969`	限位开关-B398	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0066`	伺服电机-B166	574	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0098`	接插件-B198	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0130`	波片-C131	447	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0162`	光阑-C163	553	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0194`	力传感器-D195	643	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0226`	轴承套-E128	468	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0258`	温控阀-E160	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0290`	同步带轮-F192	646	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0322`	节流阀-F125	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0354`	场镜-G157	596	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0386`	高精度螺栓-H189	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0418`	分子泵-H122	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0451`	伺服电机-I155	322	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0484`	信号调理板-I188	179	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0698`	温控阀-M105	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0730`	同步带轮-N137	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0762`	节流阀-N169	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0858`	分子泵-P166	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0890`	直线导轨滑块-Q198	339	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0922`	接线端子-Q131	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0954`	偏振片-R163	538	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0986`	遮光板-R195	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1018`	位移传感器-S128	197	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1050`	定位销-T160	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1082`	散热翅片-T192	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1114`	联轴器-U125	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1146`	气浮节流孔-U157	487	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1178`	聚焦透镜-V189	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1210`	防尘罩-V122	281	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1243`	分子泵-W155	211	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1276`	伺服电机-X188	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1375`	防尘罩-Y188	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1408`	分子泵-Z122	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1441`	伺服电机-A255	449	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1474`	信号调理板-A288	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1507`	准直透镜-B222	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1540`	防尘罩-B255	376	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1626`	真空波纹管-D242	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1658`	角接触轴承-E274	378	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1690`	储液罐-E207	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1722`	分光镜-F239	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1754`	减压阀-F271	519	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1786`	温度探头-G204	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1818`	调整垫片-H236	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1914`	信号调理板-I233	165	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1946`	光纤跳线-J265	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1978`	挡块-J297	219	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2010`	加速度计-K230	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2042`	深沟球轴承-L262	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2074`	流量计-L294	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2106`	反射镜片-M227	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2138`	压力表-M259	292	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2170`	保护窗-N291	225	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2202`	锁紧螺母-O224	436	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2234`	干泵-O256	368	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2266`	伺服电机-P288	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2299`	信号调理板-P222	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2332`	准直透镜-Q255	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2431`	伺服电机-S255	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2464`	信号调理板-S288	352	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2497`	准直透镜-T222	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2530`	防尘罩-T255	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2563`	分子泵-U288	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2596`	伺服电机-V222	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2682`	接线端子-W209	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2714`	偏振片-X241	489	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2746`	遮光板-X273	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2778`	位移传感器-Y206	210	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2810`	定位销-Z238	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2842`	散热翅片-Z270	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2874`	联轴器-A303	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2906`	气浮节流孔-A335	178	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2938`	聚焦透镜-B367	316	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2970`	防尘罩-B399	516	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0003`	调整垫片-A103	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0099`	信号调理板-B199	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0131`	光纤跳线-C132	157	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0163`	挡块-C164	289	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0195`	加速度计-D196	122	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0227`	深沟球轴承-E129	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0259`	流量计-E161	466	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0291`	反射镜片-F193	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0323`	压力表-F126	241	`C1520` 调平地脚-1520	A