LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L2	`C0520`	浸液温控器-520	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0620`	去离子水过滤器-620	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0720`	对准望远镜-720	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0820`	传感器支架-820	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0920`	真空泵组-920	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1020`	密封法兰-1020	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1120`	真空规管-1120	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1220`	热交换器-1220	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1320`	温度传感器-1320	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1420`	隔振器-1420	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1520`	调平地脚-1520	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0103`	聚光镜组-103	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0203`	相干光调制器-203	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0303`	分光棱镜-303	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0403`	光栅测尺-403	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0503`	主物镜组-503	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0603`	补偿镜组-603	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0703`	投影镜头壳体-703	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0803`	直线电机-803	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0903`	工件台基座-903	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1003`	掩模夹具-1003	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1103`	晶圆夹具-1103	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1203`	Z向微调台-1203	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1303`	浸液回收器-1303	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1403`	水处理单元-1403	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1503`	干涉仪-1503	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0104`	光束整形器-104	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0204`	反射镜组件-204	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0304`	偏振控制器-304	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0404`	快门组件-404	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0504`	场镜组-504	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0604`	高NA物镜-604	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0704`	气浮导轨-704	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0804`	光栅尺读数头-804	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0904`	平衡重块-904	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1004`	掩模对准台-1004	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1104`	吸盘-1104	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1204`	浸液喷嘴-1204	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1304`	浸液温控器-1304	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1404`	去离子水过滤器-1404	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1504`	对准望远镜-1504	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0105`	相干光调制器-105	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0205`	分光棱镜-205	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0305`	光栅测尺-305	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0405`	主物镜组-405	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0505`	补偿镜组-505	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0605`	投影镜头壳体-605	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0705`	直线电机-705	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0805`	工件台基座-805	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0905`	掩模夹具-905	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1005`	晶圆夹具-1005	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1105`	Z向微调台-1105	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1205`	浸液回收器-1205	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1305`	水处理单元-1305	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1405`	干涉仪-1405	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1505`	标定基准板-1505	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0106`	反射镜组件-106	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0206`	偏振控制器-206	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0306`	快门组件-306	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0406`	场镜组-406	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0506`	高NA物镜-506	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0606`	气浮导轨-606	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0706`	光栅尺读数头-706	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0806`	平衡重块-806	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0906`	掩模对准台-906	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1006`	吸盘-1006	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1106`	浸液喷嘴-1106	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1206`	浸液温控器-1206	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1306`	去离子水过滤器-1306	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1406`	对准望远镜-1406	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1506`	传感器支架-1506	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0107`	分光棱镜-107	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0207`	光栅测尺-207	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0307`	主物镜组-307	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0407`	补偿镜组-407	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0507`	投影镜头壳体-507	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0607`	直线电机-607	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0707`	工件台基座-707	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0807`	掩模夹具-807	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0907`	晶圆夹具-907	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1007`	Z向微调台-1007	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1107`	浸液回收器-1107	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1207`	水处理单元-1207	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1307`	干涉仪-1307	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1407`	标定基准板-1407	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1507`	图像采集相机-1507	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0108`	偏振控制器-108	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0208`	快门组件-208	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0308`	场镜组-308	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0408`	高NA物镜-408	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0508`	气浮导轨-508	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0608`	光栅尺读数头-608	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0708`	平衡重块-708	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0808`	掩模对准台-808	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0908`	吸盘-908	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1008`	浸液喷嘴-1008	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1108`	浸液温控器-1108	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1208`	去离子水过滤器-1208	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1308`	对准望远镜-1308	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1408`	传感器支架-1408	1	`S15` 安全与联锁系统	A