LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1848`	分子泵-H266	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1880`	直线导轨滑块-I298	130	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1912`	接线端子-I231	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1944`	偏振片-J263	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1976`	遮光板-J295	102	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2008`	位移传感器-K228	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2040`	定位销-L260	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2072`	散热翅片-L292	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2104`	联轴器-M225	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2136`	气浮节流孔-M257	177	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2168`	聚焦透镜-N289	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2200`	防尘罩-N222	161	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2232`	真空密封圈-O254	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2264`	交叉滚子导轨-P286	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2297`	接线端子-P220	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2330`	波片-Q253	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2363`	挡块-Q286	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2396`	真空波纹管-R220	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2495`	波片-T220	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2528`	挡块-T253	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2561`	真空波纹管-U286	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2594`	交叉滚子导轨-V220	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2616`	真空波纹管-V242	459	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2627`	接线端子-V253	200	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2648`	角接触轴承-W274	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2660`	波片-W286	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2680`	储液罐-W207	166	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2712`	分光镜-X239	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2744`	减压阀-X271	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2776`	温度探头-Y204	547	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2808`	调整垫片-Z236	191	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2840`	冷阱-Z268	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2872`	步进电机-A301	279	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2904`	信号调理板-A333	195	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2936`	光纤跳线-B365	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2968`	挡块-B397	416	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P3000`	加速度计-C330	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0033`	分子泵-A133	446	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0065`	直线导轨滑块-B165	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0097`	接线端子-B197	516	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0129`	偏振片-C130	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0161`	遮光板-C162	587	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0193`	位移传感器-D194	547	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0225`	定位销-E127	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0257`	散热翅片-E159	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0289`	联轴器-F191	508	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0321`	气浮节流孔-F124	502	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0353`	聚焦透镜-G156	559	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0385`	防尘罩-G188	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0417`	真空密封圈-H121	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0450`	直线导轨滑块-I154	491	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0483`	接插件-I187	536	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0516`	光纤跳线-J121	281	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0697`	散热翅片-M104	379	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0729`	联轴器-N136	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0825`	防尘罩-O133	191	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0857`	真空密封圈-P165	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0889`	交叉滚子导轨-Q197	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0921`	线缆束-Q130	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0953`	滤光片-R162	156	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0985`	安全阀-R194	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1017`	压力传感器-S127	161	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1049`	密封O圈-T159	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1081`	冷却盘管-T191	219	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1113`	编码器-U124	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1145`	伺服控制板-U156	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1177`	准直透镜-V188	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1209`	限位开关-V121	412	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1242`	真空密封圈-W154	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1275`	直线导轨滑块-X187	354	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1308`	接插件-X121	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1407`	真空密封圈-Z121	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1440`	直线导轨滑块-A254	528	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1473`	接插件-A287	216	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1506`	光纤跳线-B221	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1539`	限位开关-B254	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1572`	真空密封圈-C287	344	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1593`	挡块-C209	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1625`	加速度计-D241	211	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1657`	深沟球轴承-E273	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1689`	流量计-E206	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1721`	反射镜片-F238	214	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1753`	压力表-F270	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1785`	保护窗-G203	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1881`	伺服电机-I299	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1913`	接插件-I232	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1945`	波片-J264	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1977`	光阑-J296	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2009`	力传感器-K229	319	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2041`	轴承套-L261	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2073`	温控阀-L293	68	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2105`	同步带轮-M226	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2137`	节流阀-M258	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2169`	场镜-N290	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2201`	高精度螺栓-O223	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2233`	分子泵-O255	283	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2265`	直线导轨滑块-P287	473	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2298`	接插件-P221	313	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2331`	光纤跳线-Q254	180	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2364`	限位开关-Q287	306	`C1520` 调平地脚-1520	A