LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0992`	锁紧螺母-S102	376	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1022`	真空密封圈-S132	377	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1025`	冷阱-S135	166	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1054`	交叉滚子导轨-T164	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1058`	编码器-T168	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1086`	线缆束-T196	455	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1091`	气浮节流孔-T102	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1118`	滤光片-U129	132	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1124`	场镜-U135	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1150`	安全阀-U161	535	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1182`	压力传感器-V193	185	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1214`	密封O圈-W126	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1246`	冷却盘管-W158	163	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1278`	编码器-X190	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1310`	伺服控制板-X123	428	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1342`	准直透镜-Y155	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1374`	限位开关-Y187	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1406`	真空波纹管-Z120	204	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1758`	挡块-F275	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1784`	场镜-G202	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1790`	加速度计-G208	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1817`	锁紧螺母-H235	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1822`	深沟球轴承-H240	420	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1850`	冷阱-H268	82	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1854`	流量计-H272	134	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1883`	编码器-I202	476	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1886`	反射镜片-I205	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1916`	气浮节流孔-I235	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1918`	压力表-I237	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1950`	保护窗-J269	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1982`	锁紧螺母-K202	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2015`	冷阱-K235	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2046`	伺服电机-L266	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2048`	编码器-L268	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2078`	接插件-L298	240	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2081`	气浮节流孔-L202	337	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2110`	波片-M231	123	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2114`	场镜-M235	224	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2142`	光阑-M263	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2147`	锁紧螺母-N268	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2174`	力传感器-N295	253	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2180`	冷阱-N202	548	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2206`	轴承套-O228	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2238`	温控阀-O260	398	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2270`	同步带轮-P292	416	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2302`	节流阀-P225	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2334`	场镜-Q257	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2366`	高精度螺栓-R289	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2398`	分子泵-R222	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2430`	直线导轨滑块-S254	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2462`	接线端子-S286	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0032`	真空密封圈-A132	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0064`	交叉滚子导轨-B164	605	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0096`	线缆束-B196	357	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0128`	滤光片-C129	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0160`	安全阀-C161	313	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0192`	压力传感器-D193	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0224`	密封O圈-E126	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0256`	冷却盘管-E158	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0288`	编码器-F190	573	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0320`	伺服控制板-F123	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0352`	准直透镜-G155	526	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0384`	限位开关-G187	393	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0416`	真空波纹管-H120	510	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0449`	交叉滚子导轨-I153	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0482`	接线端子-I186	238	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0515`	波片-J120	426	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0548`	挡块-J153	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0696`	冷却盘管-M103	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0792`	准直透镜-O199	167	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0824`	限位开关-O132	483	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0856`	真空波纹管-P164	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0888`	角接触轴承-Q196	465	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0920`	储液罐-Q129	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0952`	分光镜-R161	177	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0984`	减压阀-R193	182	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1016`	温度探头-S126	358	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1048`	调整垫片-T158	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1080`	冷阱-T190	161	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1112`	步进电机-U123	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1144`	信号调理板-U155	44	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1176`	光纤跳线-V187	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1208`	挡块-V120	340	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1241`	真空波纹管-W153	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1274`	交叉滚子导轨-X186	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1307`	接线端子-X120	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1340`	波片-Y153	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1439`	交叉滚子导轨-A253	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1472`	接线端子-A286	77	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1505`	波片-B220	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1538`	挡块-B253	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1560`	波片-C275	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1571`	真空波纹管-C286	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1592`	光阑-C208	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1604`	交叉滚子导轨-D220	124	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1624`	力传感器-D240	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1656`	轴承套-E272	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1688`	温控阀-E205	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1720`	同步带轮-F237	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1752`	节流阀-F269	423	`C1520` 调平地脚-1520	A