外部 BOM 数据集
LITHO-001 · 光刻机整机
20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行
| 层级 | 物料编号 | 物料名称 | 数量 | 单位 | BOM编号 | 项目号 | 损耗率 | 父级物料 | 版本 | 操作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L3 | P0448 |
角接触轴承-I152 | 360 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0481 |
线缆束-I185 | 419 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0514 |
偏振片-J119 | 510 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0547 |
光阑-J152 | 341 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0580 |
加速度计-K185 | 446 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0695 |
冷阱-M102 | 329 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0759 |
信号调理板-N166 | 277 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0791 |
光纤跳线-O198 | 271 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0823 |
挡块-O131 | 286 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0855 |
加速度计-P163 | 425 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0887 |
深沟球轴承-Q195 | 200 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0919 |
流量计-Q128 | 492 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0951 |
反射镜片-R160 | 271 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0983 |
压力表-R192 | 336 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1015 |
保护窗-S125 | 240 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1047 |
锁紧螺母-T157 | 202 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1079 |
干泵-T189 | 302 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1111 |
伺服电机-U122 | 335 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1143 |
接插件-U154 | 252 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1175 |
波片-V186 | 198 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1207 |
光阑-V119 | 220 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1240 |
加速度计-W152 | 120 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1273 |
角接触轴承-X185 | 237 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1306 |
线缆束-X119 | 236 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1339 |
偏振片-Y152 | 311 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1372 |
光阑-Y185 | 314 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1438 |
角接触轴承-A252 | 338 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1471 |
线缆束-A285 | 91 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1504 |
偏振片-B219 | 431 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1527 |
接线端子-B242 | 359 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1537 |
光阑-B252 | 282 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1559 |
偏振片-C274 | 396 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1570 |
加速度计-C285 | 249 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1591 |
遮光板-C207 | 87 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1603 |
角接触轴承-D219 | 255 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1623 |
位移传感器-D239 | 218 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1636 |
线缆束-D252 | 285 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1655 |
定位销-E271 | 437 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1687 |
散热翅片-E204 | 354 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1719 |
联轴器-F236 | 224 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1751 |
气浮节流孔-F268 | 309 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1815 |
防尘罩-G233 | 535 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1847 |
真空密封圈-H265 | 561 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1879 |
交叉滚子导轨-I297 | 358 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1911 |
线缆束-I230 | 241 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1943 |
滤光片-J262 | 360 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1975 |
安全阀-J294 | 257 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2007 |
压力传感器-K227 | 337 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2039 |
密封O圈-L259 | 349 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2071 |
冷却盘管-L291 | 177 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2103 |
编码器-M224 | 199 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2135 |
伺服控制板-M256 | 466 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2167 |
准直透镜-N288 | 308 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2199 |
限位开关-N221 | 291 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2231 |
真空波纹管-O253 | 347 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2263 |
角接触轴承-P285 | 153 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2296 |
线缆束-P219 | 346 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2329 |
偏振片-Q252 | 170 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2362 |
光阑-Q285 | 204 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2395 |
加速度计-R219 | 282 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2428 |
角接触轴承-S252 | 529 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2494 |
偏振片-T219 | 303 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2527 |
光阑-T252 | 231 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2560 |
加速度计-U285 | 313 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2583 |
挡块-U209 | 294 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2593 |
角接触轴承-V219 | 262 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2615 |
加速度计-V241 | 321 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2626 |
线缆束-V252 | 220 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2647 |
深沟球轴承-W273 | 164 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2659 |
偏振片-W285 | 311 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2679 |
流量计-W206 | 391 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2692 |
光阑-W219 | 431 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2711 |
反射镜片-X238 | 463 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2743 |
压力表-X270 | 313 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2775 |
保护窗-Y203 | 381 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2807 |
锁紧螺母-Z235 | 370 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2839 |
干泵-Z267 | 363 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2871 |
伺服电机-A399 | 500 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2903 |
接插件-A332 | 278 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2935 |
波片-B364 | 309 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2967 |
光阑-B396 | 277 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2999 |
力传感器-C329 | 185 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0002 |
锁紧螺母-A102 | 324 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0035 |
冷阱-A135 | 454 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0068 |
编码器-B168 | 351 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0702 |
接线端子-M109 | 368 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0728 |
编码器-N135 | 376 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0734 |
偏振片-N141 | 297 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0761 |
气浮节流孔-N168 | 268 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0766 |
遮光板-N173 | 196 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0794 |
场镜-O102 | 321 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0798 |
位移传感器-O106 | 224 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0827 |
锁紧螺母-P135 | 125 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0830 |
定位销-P138 | 139 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0860 |
冷阱-P168 | 361 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0862 |
散热翅片-P170 | 250 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0894 |
联轴器-Q103 | 384 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0926 |
气浮节流孔-Q135 | 117 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0959 |
场镜-R168 | 401 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0990 |
防尘罩-R199 | 234 | C1520 调平地脚-1520 | A |