LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0447`	深沟球轴承-I151	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0480`	储液罐-I184	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0513`	滤光片-J118	279	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0546`	遮光板-J151	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0579`	力传感器-K184	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0612`	深沟球轴承-L118	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0726`	伺服电机-N133	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0758`	接插件-N165	527	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0790`	波片-O197	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0822`	光阑-O130	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0854`	力传感器-P162	179	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0886`	轴承套-Q194	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0918`	温控阀-Q127	124	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0950`	同步带轮-R159	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0982`	节流阀-R191	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1014`	场镜-S124	433	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1046`	高精度螺栓-T156	407	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1078`	分子泵-T188	316	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1110`	直线导轨滑块-U121	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1142`	接线端子-U153	425	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1174`	偏振片-V185	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1206`	遮光板-V118	167	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1239`	力传感器-W151	421	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1272`	深沟球轴承-X184	125	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1305`	储液罐-X118	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1338`	滤光片-Y151	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1371`	遮光板-Y184	402	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1404`	力传感器-Z118	91	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1470`	储液罐-A284	230	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1494`	交叉滚子导轨-B209	141	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1503`	滤光片-B218	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1526`	线缆束-B241	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1536`	遮光板-B251	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1558`	滤光片-C273	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1569`	力传感器-C284	163	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1590`	安全阀-C206	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1602`	深沟球轴承-D218	177	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1622`	压力传感器-D238	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1635`	储液罐-D251	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1654`	密封O圈-E270	165	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1668`	滤光片-E284	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1686`	冷却盘管-E203	187	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1718`	编码器-F235	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1782`	准直透镜-G299	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1814`	限位开关-G232	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1846`	真空波纹管-H264	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1878`	角接触轴承-I296	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1910`	储液罐-I229	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1942`	分光镜-J261	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1974`	减压阀-J293	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2006`	温度探头-K226	218	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2038`	调整垫片-L258	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2070`	冷阱-L290	432	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2102`	步进电机-M223	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2134`	信号调理板-M255	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2166`	光纤跳线-N287	135	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2198`	挡块-N220	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2230`	加速度计-O252	104	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2262`	深沟球轴承-P284	215	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2295`	储液罐-P218	468	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2328`	滤光片-Q251	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2361`	遮光板-Q284	70	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2394`	力传感器-R218	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2427`	深沟球轴承-S251	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2460`	储液罐-S284	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2526`	遮光板-T251	446	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2550`	波片-U275	409	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2559`	力传感器-U284	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2582`	光阑-U208	242	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2592`	深沟球轴承-V218	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2614`	力传感器-V240	102	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2625`	储液罐-V251	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2646`	轴承套-W272	208	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2658`	滤光片-W284	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2678`	温控阀-W205	457	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2691`	遮光板-W218	238	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2710`	同步带轮-X237	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2724`	力传感器-X251	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2742`	节流阀-X269	407	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2774`	场镜-Y202	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2806`	高精度螺栓-Z234	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2838`	分子泵-Z266	117	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2870`	直线导轨滑块-A398	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2902`	接线端子-A331	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2934`	偏振片-B363	283	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2966`	遮光板-B395	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2998`	位移传感器-C328	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0031`	真空波纹管-A131	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0063`	角接触轴承-B163	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0095`	储液罐-B195	578	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0127`	分光镜-C128	474	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0159`	减压阀-C160	614	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0191`	温度探头-D192	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0223`	调整垫片-E125	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0255`	冷阱-E157	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0287`	步进电机-F189	374	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0319`	信号调理板-F122	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0351`	光纤跳线-G154	95	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0383`	挡块-G186	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0415`	加速度计-H119	293	`C1520` 调平地脚-1520	A