LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1549`	交叉滚子导轨-C264	357	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1557`	分光镜-C272	211	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1568`	位移传感器-C283	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1581`	线缆束-C296	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1589`	减压阀-C205	214	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1601`	轴承套-D217	357	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1613`	滤光片-D229	163	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1621`	温度探头-D237	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1634`	流量计-D250	377	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1645`	安全阀-D261	212	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1653`	调整垫片-E269	393	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1667`	分光镜-E283	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1677`	压力传感器-E293	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1685`	冷阱-E202	276	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1700`	安全阀-E217	480	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1709`	密封O圈-F226	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1741`	冷却盘管-F258	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1749`	信号调理板-F266	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1773`	编码器-G290	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1781`	光纤跳线-G298	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1805`	伺服控制板-G223	95	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1813`	挡块-G231	95	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1837`	准直透镜-H255	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1845`	加速度计-H263	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1869`	限位开关-H287	459	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1877`	深沟球轴承-I295	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1901`	真空波纹管-I220	134	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1909`	流量计-I228	479	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1933`	角接触轴承-J252	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1941`	反射镜片-J260	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1965`	储液罐-J284	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1973`	压力表-J292	242	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1997`	分光镜-K217	441	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2005`	保护窗-K225	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2037`	锁紧螺母-L257	300	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2069`	干泵-L289	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2101`	伺服电机-M222	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2133`	接插件-M254	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2165`	波片-N286	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2197`	光阑-N219	242	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2229`	力传感器-O251	464	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2253`	挡块-O275	480	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2261`	轴承套-P283	243	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2285`	加速度计-P208	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2294`	流量计-P217	218	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2317`	深沟球轴承-Q240	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2327`	分光镜-Q250	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2349`	流量计-Q272	115	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2360`	安全阀-Q283	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2381`	反射镜片-R205	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2393`	位移传感器-R217	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2413`	压力表-R237	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2426`	轴承套-S250	477	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2445`	保护窗-S269	112	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2459`	流量计-S283	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2477`	锁紧螺母-T202	197	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2492`	分光镜-T217	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2517`	接线端子-T242	376	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2541`	伺服电机-U266	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2549`	偏振片-U274	493	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2558`	位移传感器-U283	179	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2573`	接插件-U298	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2581`	遮光板-U207	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2591`	轴承套-V217	419	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2605`	波片-V231	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2613`	位移传感器-V239	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2624`	流量计-V250	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2637`	光阑-V263	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2645`	定位销-W271	283	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2657`	分光镜-W283	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2669`	力传感器-W295	395	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2677`	散热翅片-W204	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2690`	安全阀-W217	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2701`	轴承套-X228	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2709`	联轴器-X236	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2723`	位移传感器-X250	152	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2733`	温控阀-X260	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2741`	气浮节流孔-X268	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2756`	轴承套-Y283	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2765`	同步带轮-Y292	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2797`	节流阀-Y225	182	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2829`	场镜-Z257	493	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2861`	高精度螺栓-A389	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2893`	分子泵-A322	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2925`	直线导轨滑块-B354	140	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2957`	接线端子-B386	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2989`	偏振片-C319	421	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0030`	加速度计-A130	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0062`	深沟球轴承-B162	525	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0094`	流量计-B194	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0126`	反射镜片-C127	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0158`	压力表-C159	518	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0190`	保护窗-D191	564	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0222`	锁紧螺母-E124	518	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0254`	干泵-E156	428	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0286`	伺服电机-F188	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0318`	接插件-F121	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0350`	波片-G153	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0382`	光阑-G185	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0414`	力传感器-H118	343	`C1520` 调平地脚-1520	A