LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P2656`	反射镜片-W282	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2668`	位移传感器-W294	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2676`	冷却盘管-W203	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2689`	减压阀-W216	319	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2700`	定位销-X227	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2708`	编码器-X235	474	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2722`	压力传感器-X249	448	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2732`	散热翅片-X259	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2755`	定位销-Y282	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2764`	联轴器-Y291	194	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2772`	准直透镜-Y299	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2788`	温控阀-Y216	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2796`	气浮节流孔-Y224	200	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2804`	限位开关-Y232	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2820`	同步带轮-Z248	506	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2828`	聚焦透镜-Z256	269	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2836`	真空波纹管-Z264	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2852`	节流阀-Z280	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2860`	防尘罩-Z288	437	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2868`	角接触轴承-A396	225	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2884`	场镜-A313	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2892`	真空密封圈-A321	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2900`	储液罐-A329	316	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2916`	高精度螺栓-B345	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2924`	交叉滚子导轨-B353	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2932`	分光镜-B361	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2948`	分子泵-B377	412	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2956`	线缆束-B385	284	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2964`	减压阀-B393	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2980`	直线导轨滑块-C310	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2988`	滤光片-C318	240	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2996`	温度探头-C326	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0021`	光纤跳线-A121	267	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0053`	挡块-A153	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0085`	加速度计-B185	462	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0117`	深沟球轴承-C118	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0149`	流量计-C150	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0405`	波片-H109	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0437`	光阑-H141	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0446`	轴承套-I150	520	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0469`	力传感器-I173	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0479`	流量计-I183	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0501`	轴承套-J106	476	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0512`	分光镜-J117	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0533`	温控阀-J138	455	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0545`	安全阀-J150	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0565`	同步带轮-K170	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0578`	位移传感器-K183	487	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0597`	节流阀-K103	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0611`	轴承套-L117	509	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0629`	场镜-L135	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0644`	流量计-L150	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0685`	保护窗-M191	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0693`	分子泵-M199	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0717`	锁紧螺母-N124	178	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0725`	直线导轨滑块-N132	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0749`	干泵-N156	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0757`	接线端子-N164	188	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0781`	伺服电机-O188	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0789`	偏振片-O196	116	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0813`	接插件-O121	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0821`	遮光板-O129	224	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0845`	波片-P153	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0853`	位移传感器-P161	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0877`	光阑-P185	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0885`	定位销-Q193	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0909`	力传感器-Q118	174	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0917`	散热翅片-Q126	200	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0941`	轴承套-R150	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0949`	联轴器-R158	216	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0981`	气浮节流孔-R190	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1013`	聚焦透镜-S123	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1045`	防尘罩-S155	495	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1077`	真空密封圈-T187	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1109`	交叉滚子导轨-U120	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1141`	线缆束-U152	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1173`	滤光片-V184	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1197`	接线端子-V109	176	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1205`	安全阀-V117	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1229`	偏振片-W141	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1238`	位移传感器-W150	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1261`	遮光板-W173	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1271`	轴承套-X183	202	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1293`	位移传感器-X106	316	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1304`	流量计-X117	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1325`	定位销-Y138	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1337`	分光镜-Y150	223	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1357`	散热翅片-Y170	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1370`	安全阀-Y183	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1389`	联轴器-Z103	204	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1403`	位移传感器-Z117	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1421`	气浮节流孔-Z135	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1436`	轴承套-A250	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1461`	真空波纹管-A275	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1485`	防尘罩-A299	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1493`	角接触轴承-B208	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1502`	分光镜-B217	112	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1517`	真空密封圈-B232	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1525`	储液罐-B240	40	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1535`	安全阀-B250	262	`C1520` 调平地脚-1520	A