外部 BOM 数据集
LITHO-001 · 光刻机整机
20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行
| 层级 | 物料编号 | 物料名称 | 数量 | 单位 | BOM编号 | 项目号 | 损耗率 | 父级物料 | 版本 | 操作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L3 | P1140 |
储液罐-U151 | 252 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1164 |
交叉滚子导轨-V175 | 242 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1172 |
分光镜-V183 | 254 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1196 |
线缆束-V108 | 350 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1204 |
减压阀-V116 | 264 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1228 |
滤光片-W140 | 332 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1237 |
压力传感器-W149 | 328 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1260 |
安全阀-W172 | 52 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1270 |
定位销-X182 | 335 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1292 |
压力传感器-X105 | 451 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1303 |
温控阀-X116 | 249 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1324 |
密封O圈-Y137 | 383 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1336 |
反射镜片-Y149 | 44 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1356 |
冷却盘管-Y169 | 344 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1369 |
减压阀-Y182 | 284 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1388 |
编码器-Z102 | 277 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1402 |
压力传感器-Z116 | 353 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1428 |
挡块-Z142 | 368 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1435 |
定位销-A249 | 361 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1452 |
准直透镜-A266 | 298 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1460 |
加速度计-A274 | 132 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1468 |
温控阀-A282 | 456 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1484 |
限位开关-A298 | 367 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1492 |
深沟球轴承-B207 | 249 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1516 |
真空波纹管-B231 | 124 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1524 |
流量计-B239 | 212 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1534 |
减压阀-B249 | 336 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1548 |
角接触轴承-C263 | 311 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1556 |
反射镜片-C271 | 360 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1567 |
压力传感器-C282 | 198 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1580 |
储液罐-C295 | 273 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1588 |
压力表-C204 | 215 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1600 |
定位销-D216 | 272 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1612 |
分光镜-D228 | 419 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1620 |
保护窗-D236 | 438 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1633 |
温控阀-D249 | 354 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1644 |
减压阀-D260 | 392 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1652 |
锁紧螺母-E268 | 163 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1666 |
反射镜片-E282 | 290 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1676 |
温度探头-E292 | 255 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1699 |
减压阀-E216 | 319 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1708 |
调整垫片-F225 | 467 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1716 |
伺服电机-F233 | 232 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1732 |
压力传感器-F249 | 313 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1740 |
冷阱-F257 | 383 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1748 |
接插件-F265 | 293 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1772 |
步进电机-G289 | 289 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1780 |
波片-G297 | 177 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1804 |
信号调理板-G222 | 190 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1812 |
光阑-G230 | 290 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1836 |
光纤跳线-H254 | 331 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1844 |
力传感器-H262 | 273 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1868 |
挡块-H286 | 417 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1876 |
轴承套-I294 | 295 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1900 |
加速度计-I219 | 388 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1908 |
温控阀-I227 | 260 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1932 |
深沟球轴承-J251 | 302 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1940 |
同步带轮-J259 | 206 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1964 |
流量计-J283 | 277 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1972 |
节流阀-J291 | 441 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P1996 |
反射镜片-K216 | 260 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2004 |
场镜-K224 | 239 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2029 |
减压阀-K249 | 480 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2036 |
高精度螺栓-L256 | 332 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2068 |
分子泵-L288 | 335 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2100 |
直线导轨滑块-M221 | 309 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2132 |
接线端子-M253 | 326 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2164 |
偏振片-N285 | 144 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2196 |
遮光板-N218 | 439 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2220 |
波片-O242 | 266 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2228 |
位移传感器-O250 | 411 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2252 |
光阑-O274 | 213 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2260 |
定位销-P282 | 288 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2284 |
力传感器-P207 | 206 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2293 |
温控阀-P216 | 247 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2316 |
轴承套-Q239 | 317 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2326 |
反射镜片-Q249 | 189 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2348 |
温控阀-Q271 | 374 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2359 |
减压阀-Q282 | 540 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2380 |
同步带轮-R204 | 417 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2392 |
压力传感器-R216 | 349 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2412 |
节流阀-R236 | 179 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2425 |
定位销-S249 | 251 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2444 |
场镜-S268 | 291 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2458 |
温控阀-S282 | 246 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2484 |
交叉滚子导轨-T209 | 215 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2491 |
反射镜片-T216 | 176 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2508 |
分子泵-T233 | 132 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2516 |
线缆束-T241 | 228 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2524 |
减压阀-T249 | 324 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2540 |
直线导轨滑块-U265 | 505 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2548 |
滤光片-U273 | 190 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2572 |
接线端子-U297 | 267 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2580 |
安全阀-U206 | 410 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2590 |
定位销-V216 | 463 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2604 |
偏振片-V230 | 467 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2612 |
压力传感器-V238 | 348 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2623 |
温控阀-V249 | 397 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2636 |
遮光板-V262 | 413 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2644 |
密封O圈-W270 | 515 | C1520 调平地脚-1520 | A |