LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P2771`	光纤跳线-Y298	243	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2787`	散热翅片-Y215	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2795`	伺服控制板-Y223	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2803`	挡块-Y231	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2819`	联轴器-Z247	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2827`	准直透镜-Z255	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2835`	加速度计-Z263	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2851`	气浮节流孔-Z279	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2859`	限位开关-Z287	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2867`	深沟球轴承-A395	491	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2883`	聚焦透镜-A312	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2891`	真空波纹管-A320	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2899`	流量计-A328	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2915`	防尘罩-A344	506	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2923`	角接触轴承-B352	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2931`	反射镜片-B360	430	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2947`	真空密封圈-B376	374	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2955`	储液罐-B384	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2963`	压力表-B392	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2979`	交叉滚子导轨-C309	181	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2987`	分光镜-C317	535	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2995`	保护窗-C325	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0020`	波片-A120	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0028`	位移传感器-A128	510	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0052`	光阑-A152	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0060`	定位销-B160	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0084`	力传感器-B184	473	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0092`	散热翅片-B192	593	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0108`	挡块-B109	551	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0116`	轴承套-C117	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0124`	联轴器-C125	456	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0140`	加速度计-C141	484	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0148`	温控阀-C149	587	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0156`	气浮节流孔-C157	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0172`	深沟球轴承-D173	181	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0181`	反射镜片-D182	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0188`	聚焦透镜-D189	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0204`	流量计-D106	461	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0220`	防尘罩-D122	482	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0236`	反射镜片-E138	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0252`	真空密封圈-E154	375	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0268`	压力表-E170	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0284`	交叉滚子导轨-F186	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0300`	保护窗-F103	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0316`	线缆束-F119	164	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0332`	锁紧螺母-G135	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0348`	滤光片-G151	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0372`	接线端子-G175	631	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0380`	安全阀-G183	307	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0396`	伺服电机-H199	448	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0404`	偏振片-H108	146	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0412`	压力传感器-H116	447	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0428`	接插件-H132	464	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0436`	遮光板-H140	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0460`	波片-I164	126	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0468`	位移传感器-I172	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0478`	温控阀-I182	352	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0492`	光阑-I196	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0500`	定位销-J105	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0511`	反射镜片-J116	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0524`	力传感器-J129	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0532`	散热翅片-J137	144	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0544`	减压阀-J149	495	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0556`	轴承套-K161	578	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0564`	联轴器-K169	597	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0577`	压力传感器-K182	567	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0588`	温控阀-K193	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0596`	气浮节流孔-K102	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0610`	定位销-L116	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0620`	同步带轮-L126	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0636`	真空波纹管-L142	619	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0643`	温控阀-L149	478	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0652`	节流阀-L158	194	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0660`	防尘罩-L166	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0668`	角接触轴承-M174	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0676`	反射镜片-M182	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0684`	场镜-M190	505	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0692`	真空密封圈-M198	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0716`	高精度螺栓-N123	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0724`	交叉滚子导轨-N131	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0748`	分子泵-N155	351	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0756`	线缆束-N163	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0780`	直线导轨滑块-O187	120	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0788`	滤光片-O195	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0812`	接线端子-O120	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0820`	安全阀-O128	189	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0844`	偏振片-P152	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0852`	压力传感器-P160	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0876`	遮光板-P184	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0884`	密封O圈-Q192	482	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0908`	位移传感器-Q117	208	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0916`	冷却盘管-Q125	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0940`	定位销-R149	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0948`	编码器-R157	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0973`	温控阀-R182	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0980`	伺服控制板-R189	438	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1012`	准直透镜-S122	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1044`	限位开关-S154	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1076`	真空波纹管-T186	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1108`	角接触轴承-U119	164	`C1520` 调平地脚-1520	A