LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1395`	波片-Z109	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1401`	温度探头-Z115	425	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1419`	信号调理板-Z133	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1427`	光阑-Z141	376	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1434`	密封O圈-A248	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1451`	光纤跳线-A265	117	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1459`	力传感器-A273	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1467`	散热翅片-A281	186	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1483`	挡块-A297	340	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1491`	轴承套-B206	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1500`	同步带轮-B215	374	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1515`	加速度计-B230	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1523`	温控阀-B238	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1547`	深沟球轴承-C262	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1555`	同步带轮-C270	340	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1566`	温度探头-C281	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1579`	流量计-C294	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1587`	节流阀-C203	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1599`	密封O圈-D215	99	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1611`	反射镜片-D227	431	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1619`	场镜-D235	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1632`	散热翅片-D248	484	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1643`	压力表-D259	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1665`	同步带轮-E281	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1675`	保护窗-E291	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1683`	分子泵-E299	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1698`	压力表-E215	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1707`	锁紧螺母-F224	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1715`	直线导轨滑块-F232	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1731`	温度探头-F248	79	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1739`	干泵-F256	171	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1747`	接线端子-F264	225	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1764`	密封O圈-G281	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1771`	伺服电机-G288	69	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1779`	偏振片-G296	178	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1803`	接插件-G221	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1811`	遮光板-G229	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1835`	波片-H253	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1843`	位移传感器-H261	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1867`	光阑-H285	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1875`	定位销-I293	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1899`	力传感器-I218	235	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1907`	散热翅片-I226	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1931`	轴承套-J250	208	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1939`	联轴器-J258	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1963`	温控阀-J282	281	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1971`	气浮节流孔-J290	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1995`	同步带轮-K215	116	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2003`	聚焦透镜-K223	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2028`	压力表-K248	276	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2035`	防尘罩-K255	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2061`	温度探头-L281	300	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2067`	真空密封圈-L287	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2099`	交叉滚子导轨-M220	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2131`	线缆束-M252	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2163`	滤光片-N284	158	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2187`	接线端子-N209	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2195`	安全阀-N217	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2219`	偏振片-O241	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2227`	压力传感器-O249	96	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2251`	遮光板-O273	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2259`	密封O圈-P281	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2283`	位移传感器-P206	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2292`	散热翅片-P215	479	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2315`	定位销-Q238	510	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2325`	同步带轮-Q248	397	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2347`	散热翅片-Q270	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2358`	压力表-Q281	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2379`	联轴器-R203	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2391`	温度探头-R215	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2411`	气浮节流孔-R235	291	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2424`	密封O圈-S248	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2451`	真空波纹管-S275	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2457`	散热翅片-S281	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2475`	防尘罩-S299	475	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2483`	角接触轴承-T208	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2490`	同步带轮-T215	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2507`	真空密封圈-T232	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2515`	储液罐-T240	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2523`	压力表-T248	513	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2539`	交叉滚子导轨-U264	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2547`	分光镜-U272	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2556`	温度探头-U281	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2571`	线缆束-U296	164	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2579`	减压阀-U205	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2603`	滤光片-V229	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2611`	温度探头-V237	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2622`	散热翅片-V248	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2635`	安全阀-V261	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2643`	调整垫片-W269	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2655`	同步带轮-W281	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2667`	压力传感器-W293	435	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2675`	冷阱-W202	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2688`	压力表-W215	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2699`	密封O圈-X226	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2721`	温度探头-X248	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2731`	冷却盘管-X258	253	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2739`	信号调理板-X266	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2754`	密封O圈-Y281	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2763`	编码器-Y290	416	`C1520` 调平地脚-1520	A