LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0019`	偏振片-A119	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0027`	压力传感器-A127	509	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0051`	遮光板-A151	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0059`	密封O圈-B159	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0075`	波片-B175	470	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0083`	位移传感器-B183	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0091`	冷却盘管-B191	647	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0107`	光阑-B108	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0115`	定位销-C116	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0123`	编码器-C124	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0139`	力传感器-C140	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0147`	散热翅片-C148	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0155`	伺服控制板-C156	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0171`	轴承套-D172	503	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0180`	同步带轮-D181	529	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0187`	准直透镜-D188	377	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0203`	温控阀-D105	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0213`	压力表-D115	558	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0219`	限位开关-D121	358	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0235`	同步带轮-E137	632	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0251`	真空波纹管-E153	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0267`	节流阀-E169	412	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0283`	角接触轴承-F185	463	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0299`	场镜-F102	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0315`	储液罐-F118	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0339`	交叉滚子导轨-G142	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0347`	分光镜-G150	444	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0363`	分子泵-G166	545	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0371`	线缆束-G174	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0379`	减压阀-G182	489	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0395`	直线导轨滑块-H198	238	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0403`	滤光片-H107	398	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0411`	温度探头-H115	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0427`	接线端子-H131	447	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0435`	安全阀-H139	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0444`	密封O圈-I148	392	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0459`	偏振片-I163	211	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0467`	压力传感器-I171	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0491`	遮光板-I195	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0499`	密封O圈-J104	670	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0510`	同步带轮-J115	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0523`	位移传感器-J128	480	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0531`	冷却盘管-J136	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0543`	压力表-J148	526	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0555`	定位销-K160	340	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0563`	编码器-K168	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0576`	温度探头-K181	429	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0587`	散热翅片-K192	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0603`	挡块-K109	478	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0609`	密封O圈-L115	633	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0619`	联轴器-L125	476	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0627`	准直透镜-L133	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0635`	加速度计-L141	481	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0642`	散热翅片-L148	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0651`	气浮节流孔-L157	581	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0659`	限位开关-L165	649	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0667`	深沟球轴承-M173	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0675`	同步带轮-M181	584	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0683`	聚焦透镜-M189	351	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0691`	真空波纹管-M197	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0708`	压力表-M115	476	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0715`	防尘罩-M122	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0723`	角接触轴承-N130	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0747`	真空密封圈-N154	548	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0755`	储液罐-N162	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0779`	交叉滚子导轨-O186	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0787`	分光镜-O194	423	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0811`	线缆束-O119	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0819`	减压阀-O127	431	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0843`	滤光片-P151	108	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0851`	温度探头-P159	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0875`	安全阀-P183	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0883`	调整垫片-Q191	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0907`	压力传感器-Q116	108	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0915`	冷阱-Q124	352	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0939`	密封O圈-R148	402	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0947`	步进电机-R156	409	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0972`	散热翅片-R181	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0979`	信号调理板-R188	144	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1005`	同步带轮-S115	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1011`	光纤跳线-S121	395	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1043`	挡块-S153	172	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1075`	加速度计-T185	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1107`	深沟球轴承-U118	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1131`	真空波纹管-U142	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1139`	流量计-U150	137	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1163`	角接触轴承-V174	228	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1171`	反射镜片-V182	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1195`	储液罐-V107	461	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1203`	压力表-V115	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1227`	分光镜-W139	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1236`	温度探头-W148	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1259`	减压阀-W171	189	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1269`	密封O圈-X181	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1291`	温度探头-X104	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1302`	散热翅片-X115	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1323`	调整垫片-Y136	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1335`	同步带轮-Y148	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1355`	冷阱-Y168	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1368`	压力表-Y181	278	`C1520` 调平地脚-1520	A