LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L2	`C1014`	对准望远镜-1014	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1114`	传感器支架-1114	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1214`	真空泵组-1214	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1314`	密封法兰-1314	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1414`	真空规管-1414	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1514`	热交换器-1514	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0115`	投影镜头壳体-115	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0215`	直线电机-215	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0315`	工件台基座-315	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0415`	掩模夹具-415	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0515`	晶圆夹具-515	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0615`	Z向微调台-615	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0715`	浸液回收器-715	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0815`	水处理单元-815	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0915`	干涉仪-915	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1015`	标定基准板-1015	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1115`	图像采集相机-1115	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1215`	真空腔体-1215	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1315`	波纹管-1315	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1415`	冷却板-1415	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1515`	循环泵-1515	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0116`	气浮导轨-116	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0216`	光栅尺读数头-216	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0316`	平衡重块-316	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0416`	掩模对准台-416	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0516`	吸盘-516	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0616`	浸液喷嘴-616	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0716`	浸液温控器-716	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0816`	去离子水过滤器-816	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0916`	对准望远镜-916	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1016`	传感器支架-1016	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1116`	真空泵组-1116	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1216`	密封法兰-1216	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1316`	真空规管-1316	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1416`	热交换器-1416	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1516`	温度传感器-1516	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0117`	直线电机-117	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0217`	工件台基座-217	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0317`	掩模夹具-317	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0417`	晶圆夹具-417	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0517`	Z向微调台-517	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0617`	浸液回收器-617	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0717`	水处理单元-717	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0817`	干涉仪-817	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0917`	标定基准板-917	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1017`	图像采集相机-1017	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1117`	真空腔体-1117	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1217`	波纹管-1217	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1317`	冷却板-1317	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1417`	循环泵-1417	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1517`	液冷分配器-1517	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0118`	光栅尺读数头-118	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0218`	平衡重块-218	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0318`	掩模对准台-318	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0418`	吸盘-418	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0518`	浸液喷嘴-518	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0618`	浸液温控器-618	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0718`	去离子水过滤器-718	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0818`	对准望远镜-818	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0918`	传感器支架-918	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1018`	真空泵组-1018	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1118`	密封法兰-1118	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1218`	真空规管-1218	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1318`	热交换器-1318	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1418`	温度传感器-1418	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1518`	隔振器-1518	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0119`	工件台基座-119	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0219`	掩模夹具-219	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0319`	晶圆夹具-319	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0419`	Z向微调台-419	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0519`	浸液回收器-519	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0619`	水处理单元-619	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0719`	干涉仪-719	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0819`	标定基准板-819	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0919`	图像采集相机-919	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1019`	真空腔体-1019	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1119`	波纹管-1119	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1219`	冷却板-1219	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1319`	循环泵-1319	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1419`	液冷分配器-1419	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1519`	机架主梁-1519	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0102`	准直扩束器-102	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0202`	光束整形器-202	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0302`	反射镜组件-302	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0402`	偏振控制器-402	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0502`	快门组件-502	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0602`	场镜组-602	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0702`	高NA物镜-702	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0802`	气浮导轨-802	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0902`	光栅尺读数头-902	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1002`	平衡重块-1002	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1102`	掩模对准台-1102	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1202`	吸盘-1202	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1302`	浸液喷嘴-1302	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1402`	浸液温控器-1402	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1502`	去离子水过滤器-1502	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0120`	平衡重块-120	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0220`	掩模对准台-220	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0320`	吸盘-320	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0420`	浸液喷嘴-420	1	`S15` 安全与联锁系统	A