LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1697`	节流阀-E214	116	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1706`	高精度螺栓-F223	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1714`	交叉滚子导轨-F231	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1730`	保护窗-F247	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1738`	分子泵-F255	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1746`	线缆束-F263	258	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1763`	调整垫片-G280	162	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1770`	直线导轨滑块-G287	187	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1778`	滤光片-G295	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1796`	冷却盘管-G214	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1802`	接线端子-G220	269	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1810`	安全阀-G228	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1834`	偏振片-H252	170	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1842`	压力传感器-H260	161	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1866`	遮光板-H284	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1874`	密封O圈-I292	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1898`	位移传感器-I217	265	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1906`	冷却盘管-I225	292	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1930`	定位销-J249	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1938`	编码器-J257	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1962`	散热翅片-J281	224	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1970`	伺服控制板-J289	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1994`	联轴器-K214	289	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2002`	准直透镜-K222	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2027`	节流阀-K247	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2034`	限位开关-K254	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2060`	保护窗-L280	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2066`	真空波纹管-L286	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2093`	调整垫片-M214	427	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2098`	角接触轴承-M219	337	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2130`	储液罐-M251	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2154`	交叉滚子导轨-N275	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2162`	分光镜-N283	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2186`	线缆束-N208	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2194`	减压阀-N216	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2218`	滤光片-O240	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2226`	温度探头-O248	395	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2250`	安全阀-O272	191	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2258`	调整垫片-P280	490	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2282`	压力传感器-P205	227	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2291`	冷却盘管-P214	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2314`	密封O圈-Q237	272	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2324`	联轴器-Q247	267	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2346`	冷却盘管-Q269	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2357`	节流阀-Q280	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2378`	编码器-R202	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2390`	保护窗-R214	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2418`	挡块-R242	238	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2423`	调整垫片-S247	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2442`	准直透镜-S266	190	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2450`	加速度计-S274	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2456`	冷却盘管-S280	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2474`	限位开关-S298	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2482`	深沟球轴承-T207	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2489`	联轴器-T214	168	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2506`	真空波纹管-T231	357	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2514`	流量计-T239	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2522`	节流阀-T247	456	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2538`	角接触轴承-U263	542	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2546`	反射镜片-U271	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2555`	保护窗-U280	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2570`	储液罐-U295	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2578`	压力表-U204	202	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2588`	调整垫片-V214	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2602`	分光镜-V228	387	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2610`	保护窗-V236	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2634`	减压阀-V260	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2642`	锁紧螺母-W268	159	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2654`	联轴器-W280	379	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2666`	温度探头-W292	261	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2687`	节流阀-W214	180	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2698`	调整垫片-X225	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2706`	伺服电机-X233	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2720`	保护窗-X247	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2730`	冷阱-X257	183	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2738`	接插件-X265	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2753`	调整垫片-Y280	228	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2762`	步进电机-Y289	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2770`	波片-Y297	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2786`	冷却盘管-Y214	470	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2794`	信号调理板-Y222	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2802`	光阑-Y230	281	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2818`	编码器-Z246	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2826`	光纤跳线-Z254	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2834`	力传感器-Z262	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2850`	伺服控制板-Z278	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2858`	挡块-Z286	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2866`	轴承套-A394	138	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2882`	准直透镜-A311	430	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2890`	加速度计-A319	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2898`	温控阀-A327	223	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2914`	限位开关-A343	275	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2922`	深沟球轴承-B351	202	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2930`	同步带轮-B359	187	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2946`	真空波纹管-B375	180	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2954`	流量计-B383	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2962`	节流阀-B391	374	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2978`	角接触轴承-C308	228	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2986`	反射镜片-C316	337	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2994`	场镜-C324	370	`C1520` 调平地脚-1520	A