LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0402`	分光镜-H106	376	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0410`	保护窗-H114	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0426`	线缆束-H130	474	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0434`	减压阀-H138	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0443`	调整垫片-I147	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0458`	滤光片-I162	504	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0466`	温度探头-I170	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0476`	冷却盘管-I180	449	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0490`	安全阀-I194	340	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0498`	调整垫片-J103	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0522`	压力传感器-J127	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0530`	冷阱-J135	464	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0542`	节流阀-J147	465	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0554`	密封O圈-K159	544	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0570`	波片-K175	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0575`	保护窗-K180	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0586`	冷却盘管-K191	585	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0594`	信号调理板-K199	436	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0602`	光阑-K108	589	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0608`	调整垫片-L114	398	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0618`	编码器-L124	436	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0626`	光纤跳线-L132	528	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0634`	力传感器-L140	525	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0641`	冷却盘管-L147	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0650`	伺服控制板-L156	468	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0658`	挡块-L164	531	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0666`	轴承套-M172	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0674`	联轴器-M180	438	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0682`	准直透镜-M188	426	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0690`	加速度计-M196	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0707`	节流阀-M114	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0714`	限位开关-M121	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0722`	深沟球轴承-N129	220	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0740`	保护窗-N147	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0746`	真空波纹管-N153	236	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0754`	流量计-N161	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0778`	角接触轴承-O185	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0786`	反射镜片-O193	267	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0810`	储液罐-O118	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0818`	压力表-O126	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0842`	分光镜-P150	505	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0850`	保护窗-P158	215	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0874`	减压阀-P182	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0882`	锁紧螺母-Q190	511	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0906`	温度探头-Q115	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0914`	干泵-Q123	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0938`	调整垫片-R147	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0946`	伺服电机-R155	471	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0971`	冷却盘管-R180	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0978`	接插件-R187	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1004`	联轴器-S114	358	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1010`	波片-S120	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1037`	节流阀-S147	158	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1042`	光阑-S152	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1074`	力传感器-T184	99	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1098`	挡块-T109	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1106`	轴承套-U117	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1130`	加速度计-U141	135	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1138`	温控阀-U149	173	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1162`	深沟球轴承-V173	148	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1170`	同步带轮-V181	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1194`	流量计-V106	404	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1202`	节流阀-V114	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1226`	反射镜片-W138	291	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1235`	保护窗-W147	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1258`	压力表-W170	213	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1268`	调整垫片-X180	162	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1290`	保护窗-X103	375	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1301`	冷却盘管-X114	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1322`	锁紧螺母-Y135	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1334`	联轴器-Y147	221	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1362`	接线端子-Y175	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1367`	节流阀-Y180	428	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1386`	伺服电机-Z199	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1394`	偏振片-Z108	203	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1400`	保护窗-Z114	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1418`	接插件-Z132	219	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1426`	遮光板-Z140	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1433`	调整垫片-A247	168	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1450`	波片-A264	210	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1458`	位移传感器-A272	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1466`	冷却盘管-A280	475	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1482`	光阑-A296	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1490`	定位销-B205	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1499`	联轴器-B214	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1514`	力传感器-B229	146	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1522`	散热翅片-B237	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1532`	节流阀-B247	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1546`	轴承套-C261	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1554`	联轴器-C269	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1578`	温控阀-C293	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1586`	气浮节流孔-C202	357	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1598`	调整垫片-D214	351	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1610`	同步带轮-D226	134	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1631`	冷却盘管-D247	285	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1642`	节流阀-D258	243	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1650`	防尘罩-D266	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1664`	联轴器-E280	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1674`	场镜-E290	276	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1682`	真空密封圈-E298	269	`C1520` 调平地脚-1520	A