LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P2217`	分光镜-O239	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2225`	保护窗-O247	177	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2249`	减压阀-O271	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2257`	锁紧螺母-P279	448	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2281`	温度探头-P204	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2290`	冷阱-P213	169	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2313`	调整垫片-Q236	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2323`	编码器-Q246	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2345`	冷阱-Q268	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2356`	气浮节流孔-Q279	300	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2385`	波片-R209	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2389`	场镜-R213	472	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2409`	信号调理板-R233	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2417`	光阑-R241	229	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2422`	锁紧螺母-S246	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2441`	光纤跳线-S265	220	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2449`	力传感器-S273	480	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2455`	冷阱-S279	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2473`	挡块-S297	251	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2481`	轴承套-T206	427	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2488`	编码器-T213	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2505`	加速度计-T230	472	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2513`	温控阀-T238	125	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2521`	气浮节流孔-T246	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2537`	深沟球轴承-U262	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2545`	同步带轮-U270	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2554`	场镜-U279	211	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2569`	流量计-U294	252	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2577`	节流阀-U203	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2587`	锁紧螺母-V213	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2601`	反射镜片-V227	218	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2609`	场镜-V235	400	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2620`	冷阱-V246	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2633`	压力表-V259	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2665`	保护窗-W291	258	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2673`	分子泵-W299	379	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2686`	气浮节流孔-W213	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2697`	锁紧螺母-X224	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2705`	直线导轨滑块-X232	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2719`	场镜-X246	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2729`	干泵-X256	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2737`	接线端子-X264	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2752`	锁紧螺母-Y279	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2761`	伺服电机-Y288	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2769`	偏振片-Y296	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2785`	冷阱-Y213	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2793`	接插件-Y221	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2801`	遮光板-Y229	400	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2817`	步进电机-Z245	211	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2825`	波片-Z253	366	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2833`	位移传感器-Z261	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2849`	信号调理板-Z277	343	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2857`	光阑-Z285	291	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2865`	定位销-A393	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2881`	光纤跳线-A310	60	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2889`	力传感器-A318	144	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2897`	散热翅片-A326	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2913`	挡块-A342	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2921`	轴承套-B350	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2929`	联轴器-B358	198	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2945`	加速度计-B374	284	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2953`	温控阀-B382	208	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2961`	气浮节流孔-B390	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2977`	深沟球轴承-C307	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2985`	同步带轮-C315	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2993`	聚焦透镜-C323	480	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0018`	滤光片-A118	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0026`	温度探头-A126	502	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0042`	接线端子-A142	441	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0050`	安全阀-A150	183	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0058`	调整垫片-B158	438	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0074`	偏振片-B174	622	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0082`	压力传感器-B182	574	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0090`	冷阱-B190	636	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0106`	遮光板-B107	468	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0114`	密封O圈-C115	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0122`	步进电机-C123	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0138`	位移传感器-C139	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0146`	冷却盘管-C147	462	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0154`	信号调理板-C155	486	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0170`	定位销-D171	434	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0179`	联轴器-D180	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0186`	光纤跳线-D187	646	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0202`	散热翅片-D104	365	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0212`	节流阀-D114	394	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0218`	挡块-D120	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0234`	联轴器-E136	491	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0245`	保护窗-E147	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0250`	加速度计-E152	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0266`	气浮节流孔-E168	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0282`	深沟球轴承-F184	471	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0306`	真空波纹管-F109	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0314`	流量计-F117	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0330`	防尘罩-F133	459	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0338`	角接触轴承-G141	490	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0346`	反射镜片-G149	583	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0362`	真空密封圈-G165	513	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0370`	储液罐-G173	537	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0378`	压力表-G181	562	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0394`	交叉滚子导轨-H197	451	`C1520` 调平地脚-1520	A