LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0849`	场镜-P157	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0873`	压力表-P181	404	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0881`	高精度螺栓-Q189	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0905`	保护窗-Q114	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0913`	分子泵-Q122	289	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0937`	锁紧螺母-R146	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0945`	直线导轨滑块-R154	222	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0970`	冷阱-R179	195	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0977`	接线端子-R186	229	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1003`	编码器-S113	147	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1009`	偏振片-S119	313	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1036`	气浮节流孔-S146	283	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1041`	遮光板-S151	225	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1065`	波片-T175	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1069`	场镜-T179	508	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1073`	位移传感器-T183	194	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1097`	光阑-T108	269	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1105`	定位销-U116	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1129`	力传感器-U140	444	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1137`	散热翅片-U148	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1161`	轴承套-V172	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1169`	联轴器-V180	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1193`	温控阀-V105	508	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1201`	气浮节流孔-V113	522	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1225`	同步带轮-W137	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1234`	场镜-W146	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1257`	节流阀-W169	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1267`	锁紧螺母-X179	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1289`	场镜-X102	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1300`	冷阱-X113	137	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1329`	交叉滚子导轨-Y142	548	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1333`	编码器-Y146	487	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1353`	分子泵-Y166	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1361`	线缆束-Y174	418	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1366`	气浮节流孔-Y179	446	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1385`	直线导轨滑块-Z198	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1393`	滤光片-Z107	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1399`	场镜-Z113	319	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1417`	接线端子-Z131	444	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1425`	安全阀-Z139	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1432`	锁紧螺母-A246	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1449`	偏振片-A263	477	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1457`	压力传感器-A271	229	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1465`	冷阱-A279	296	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1481`	遮光板-A295	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1489`	密封O圈-B204	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1498`	编码器-B213	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1513`	位移传感器-B228	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1521`	冷却盘管-B236	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1531`	气浮节流孔-B246	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1545`	定位销-C260	165	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1553`	编码器-C268	130	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1564`	场镜-C279	370	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1577`	散热翅片-C292	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1609`	联轴器-D225	221	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1617`	准直透镜-D233	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1630`	冷阱-D246	322	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1641`	气浮节流孔-D257	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1649`	限位开关-D265	314	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1663`	编码器-E279	404	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1673`	聚焦透镜-E289	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1681`	真空波纹管-E297	370	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1696`	气浮节流孔-E213	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1705`	防尘罩-E222	168	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1713`	角接触轴承-F230	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1729`	场镜-F246	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1737`	真空密封圈-F254	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1745`	储液罐-F262	154	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1762`	锁紧螺母-G279	180	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1769`	交叉滚子导轨-G286	177	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1777`	分光镜-G294	409	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1795`	冷阱-G213	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1801`	线缆束-G219	416	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1809`	减压阀-G227	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1828`	编码器-H246	265	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1833`	滤光片-H251	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1841`	温度探头-H259	446	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1865`	安全阀-H283	171	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1873`	调整垫片-I291	493	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1897`	压力传感器-I216	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1905`	冷阱-I224	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1929`	密封O圈-J248	340	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1937`	步进电机-J256	537	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1961`	冷却盘管-J280	159	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1969`	信号调理板-J288	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1993`	编码器-K213	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2001`	光纤跳线-K221	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2026`	气浮节流孔-K246	500	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2033`	挡块-K253	105	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2059`	场镜-L279	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2065`	加速度计-L285	271	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2092`	锁紧螺母-M213	421	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2097`	深沟球轴承-M218	200	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2121`	真空波纹管-M242	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2125`	冷阱-M246	358	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2129`	流量计-M250	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2153`	角接触轴承-N274	214	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2161`	反射镜片-N282	299	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2185`	储液罐-N207	126	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2193`	压力表-N215	366	`C1520` 调平地脚-1520	A