外部 BOM 数据集
LITHO-001 · 光刻机整机
20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行
| 层级 | 物料编号 | 物料名称 | 数量 | 单位 | BOM编号 | 项目号 | 损耗率 | 父级物料 | 版本 | 操作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L3 | P2792 |
接线端子-Y220 | 328 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2800 |
安全阀-Y228 | 463 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2816 |
伺服电机-Z244 | 393 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2824 |
偏振片-Z252 | 180 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2832 |
压力传感器-Z260 | 117 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2848 |
接插件-Z276 | 388 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2856 |
遮光板-Z284 | 210 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2864 |
密封O圈-A392 | 392 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2880 |
波片-A309 | 262 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2888 |
位移传感器-A317 | 218 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2896 |
冷却盘管-A325 | 198 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2912 |
光阑-A341 | 298 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2920 |
定位销-B349 | 396 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2928 |
编码器-B357 | 192 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2944 |
力传感器-B373 | 254 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2952 |
散热翅片-B381 | 391 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2960 |
伺服控制板-B389 | 137 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2976 |
轴承套-C306 | 176 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2984 |
联轴器-C314 | 328 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P2992 |
准直透镜-C322 | 271 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0009 |
交叉滚子导轨-A109 | 584 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0017 |
分光镜-A117 | 357 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0025 |
保护窗-A125 | 425 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0041 |
线缆束-A141 | 317 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0049 |
减压阀-A149 | 553 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0057 |
锁紧螺母-B157 | 286 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0073 |
滤光片-B173 | 497 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0081 |
温度探头-B181 | 444 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0089 |
干泵-B189 | 361 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0105 |
安全阀-B106 | 625 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0113 |
调整垫片-C114 | 311 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0121 |
伺服电机-C122 | 535 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0137 |
压力传感器-C138 | 479 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0145 |
冷阱-C146 | 534 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0153 |
接插件-C154 | 374 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0169 |
密封O圈-D170 | 518 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0178 |
编码器-D179 | 357 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0185 |
波片-D186 | 354 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0201 |
冷却盘管-D103 | 652 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0211 |
气浮节流孔-D113 | 353 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0217 |
光阑-D119 | 393 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0233 |
编码器-E135 | 420 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0244 |
场镜-E146 | 547 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0249 |
力传感器-E151 | 280 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0273 |
挡块-E175 | 418 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0277 |
锁紧螺母-F179 | 626 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0281 |
轴承套-F183 | 328 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0297 |
准直透镜-F199 | 579 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0305 |
加速度计-F108 | 567 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0313 |
温控阀-F116 | 343 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0329 |
限位开关-F132 | 387 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0337 |
深沟球轴承-G140 | 424 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0345 |
同步带轮-G148 | 294 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0361 |
真空波纹管-G164 | 394 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0369 |
流量计-G172 | 425 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0377 |
节流阀-G180 | 278 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0393 |
角接触轴承-H196 | 480 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0401 |
反射镜片-H105 | 241 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0409 |
场镜-H113 | 426 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0425 |
储液罐-H129 | 420 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0433 |
压力表-H137 | 599 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0442 |
锁紧螺母-I146 | 569 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0457 |
分光镜-I161 | 603 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0465 |
保护窗-I169 | 415 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0475 |
冷阱-I179 | 189 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0489 |
减压阀-I193 | 505 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0497 |
锁紧螺母-J102 | 496 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0508 |
编码器-J113 | 380 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0521 |
温度探头-J126 | 329 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0537 |
接线端子-J142 | 438 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0553 |
调整垫片-K158 | 305 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0561 |
伺服电机-K166 | 231 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0569 |
偏振片-K174 | 563 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0574 |
场镜-K179 | 352 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0585 |
冷阱-K190 | 366 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0593 |
接插件-K198 | 264 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0601 |
遮光板-K107 | 317 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0607 |
锁紧螺母-L113 | 390 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0617 |
步进电机-L123 | 493 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0625 |
波片-L131 | 371 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0633 |
位移传感器-L139 | 610 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0640 |
冷阱-L146 | 474 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0649 |
信号调理板-L155 | 539 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0657 |
光阑-L163 | 254 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0665 |
定位销-M171 | 367 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0673 |
编码器-M179 | 462 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0681 |
光纤跳线-M187 | 467 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0689 |
力传感器-M195 | 350 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0706 |
气浮节流孔-M113 | 296 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0713 |
挡块-M120 | 347 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0721 |
轴承套-N128 | 418 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0739 |
场镜-N146 | 260 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0745 |
加速度计-N152 | 300 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0753 |
温控阀-N160 | 236 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0772 |
锁紧螺母-O179 | 377 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0777 |
深沟球轴承-O184 | 286 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0785 |
同步带轮-O192 | 210 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0809 |
流量计-O117 | 354 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0817 |
节流阀-O125 | 372 | C1520 调平地脚-1520 | A | |||||
| L3 | P0841 |
反射镜片-P149 | 440 | C1520 调平地脚-1520 | A |