LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1544`	密封O圈-C259	421	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1563`	聚焦透镜-C278	193	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1576`	冷却盘管-C291	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1584`	信号调理板-C299	265	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1596`	高精度螺栓-D212	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1608`	编码器-D224	220	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1616`	光纤跳线-D232	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1640`	伺服控制板-D256	434	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1648`	挡块-D264	415	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1662`	步进电机-E278	470	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1672`	准直透镜-E288	484	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1680`	加速度计-E296	486	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1695`	伺服控制板-E212	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1704`	限位开关-E221	178	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1712`	深沟球轴承-F229	416	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1728`	聚焦透镜-F245	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1736`	真空波纹管-F253	490	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1744`	流量计-F261	465	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1761`	高精度螺栓-G278	83	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1768`	角接触轴承-G285	204	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1776`	反射镜片-G293	394	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1794`	干泵-G212	235	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1800`	储液罐-G218	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1808`	压力表-G226	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1827`	步进电机-H245	470	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1832`	分光镜-H250	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1840`	保护窗-H258	322	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1860`	伺服控制板-H278	258	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1864`	减压阀-H282	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1872`	锁紧螺母-I290	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1896`	温度探头-I215	493	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1904`	干泵-I223	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1928`	调整垫片-J247	408	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1936`	伺服电机-J255	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1960`	冷阱-J279	227	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1968`	接插件-J287	400	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1992`	步进电机-K212	486	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2000`	波片-K220	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2025`	伺服控制板-K245	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2032`	光阑-K252	466	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2058`	聚焦透镜-L278	407	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2064`	力传感器-L284	243	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2088`	挡块-L209	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2091`	高精度螺栓-M212	332	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2096`	轴承套-M217	389	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2120`	加速度计-M241	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2124`	干泵-M245	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2128`	温控阀-M249	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2152`	深沟球轴承-N273	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2157`	步进电机-N278	344	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2160`	同步带轮-N281	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2184`	流量计-N206	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2192`	节流阀-N214	334	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2216`	反射镜片-O238	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2224`	场镜-O246	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2248`	压力表-O270	140	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2256`	高精度螺栓-P278	253	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2280`	保护窗-P203	279	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2289`	干泵-P212	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2312`	锁紧螺母-Q235	364	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2322`	步进电机-Q245	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2352`	接线端子-Q275	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2355`	伺服控制板-Q278	465	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2376`	伺服电机-R299	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2384`	偏振片-R208	332	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2388`	聚焦透镜-R212	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2408`	接插件-R232	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2416`	遮光板-R240	226	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2421`	高精度螺栓-S245	452	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2440`	波片-S264	125	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2448`	位移传感器-S272	146	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2454`	干泵-S278	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2472`	光阑-S296	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2480`	定位销-T205	516	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2487`	步进电机-T212	208	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2504`	力传感器-T229	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2512`	散热翅片-T237	146	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2520`	伺服控制板-T245	79	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2536`	轴承套-U261	240	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2544`	联轴器-U269	406	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2553`	聚焦透镜-U278	306	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2568`	温控阀-U293	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2576`	气浮节流孔-U202	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2586`	高精度螺栓-V212	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2600`	同步带轮-V226	405	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2619`	干泵-V245	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2632`	节流阀-V258	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2640`	防尘罩-V266	484	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2652`	步进电机-W278	212	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2664`	场镜-W290	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2672`	真空密封圈-W298	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2696`	高精度螺栓-X223	217	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2704`	交叉滚子导轨-X231	212	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2718`	聚焦透镜-X245	430	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2728`	分子泵-X255	292	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2736`	线缆束-X263	335	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2751`	高精度螺栓-Y278	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2760`	直线导轨滑块-Y287	381	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2768`	滤光片-Y295	150	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2784`	干泵-Y212	250	`C1520` 调平地脚-1520	A