LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0376`	气浮节流孔-G179	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0392`	深沟球轴承-H195	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0400`	同步带轮-H104	432	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0408`	聚焦透镜-H112	404	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0424`	流量计-H128	451	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0432`	节流阀-H136	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0441`	高精度螺栓-I145	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0456`	反射镜片-I160	223	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0464`	场镜-I168	396	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0474`	干泵-I178	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0488`	压力表-I192	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0504`	交叉滚子导轨-J109	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0507`	步进电机-J112	469	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0520`	保护窗-J125	488	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0528`	分子泵-J133	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0536`	线缆束-J141	225	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0540`	伺服控制板-J145	397	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0552`	锁紧螺母-K157	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0560`	直线导轨滑块-K165	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0568`	滤光片-K173	468	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0584`	干泵-K189	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0592`	接线端子-K197	549	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0600`	安全阀-K106	344	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0606`	高精度螺栓-L112	320	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0616`	伺服电机-L122	467	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0624`	偏振片-L130	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0632`	压力传感器-L138	533	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0639`	干泵-L145	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0648`	接插件-L154	247	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0656`	遮光板-L162	549	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0664`	密封O圈-M170	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0672`	步进电机-M178	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0680`	波片-M186	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0688`	位移传感器-M194	253	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0705`	伺服控制板-M112	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0712`	光阑-M119	205	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0720`	定位销-N127	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0738`	聚焦透镜-N145	439	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0744`	力传感器-N151	410	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0752`	散热翅片-N159	262	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0771`	高精度螺栓-O178	353	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0776`	轴承套-O183	419	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0784`	联轴器-O191	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0804`	干泵-O112	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0808`	温控阀-O116	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0816`	气浮节流孔-O124	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0840`	同步带轮-P148	339	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0848`	聚焦透镜-P156	209	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0872`	节流阀-P180	442	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0880`	防尘罩-P188	175	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0904`	场镜-Q113	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0912`	真空密封圈-Q121	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0936`	高精度螺栓-R145	135	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0944`	交叉滚子导轨-R153	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0969`	干泵-R178	539	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0976`	线缆束-R185	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1002`	步进电机-S112	141	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1008`	滤光片-S118	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1032`	接线端子-S142	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1035`	伺服控制板-S145	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1040`	安全阀-S150	254	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1064`	偏振片-T174	342	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1068`	聚焦透镜-T178	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1072`	压力传感器-T182	362	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1096`	遮光板-T107	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1101`	高精度螺栓-U112	276	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1104`	密封O圈-U115	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1128`	位移传感器-U139	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1136`	冷却盘管-U147	435	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1160`	定位销-V171	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1168`	编码器-V179	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1192`	散热翅片-V104	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1200`	伺服控制板-V112	319	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1224`	联轴器-W136	186	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1233`	聚焦透镜-W145	188	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1256`	气浮节流孔-W168	382	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1266`	高精度螺栓-X178	449	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1296`	真空波纹管-X109	463	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1299`	干泵-X112	269	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1320`	防尘罩-X133	401	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1328`	角接触轴承-Y141	453	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1332`	步进电机-Y145	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1352`	真空密封圈-Y165	279	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1360`	储液罐-Y173	168	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1365`	伺服控制板-Y178	268	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1384`	交叉滚子导轨-Z197	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1392`	分光镜-Z106	383	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1398`	聚焦透镜-Z112	274	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1416`	线缆束-Z130	123	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1424`	减压阀-Z138	446	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1431`	高精度螺栓-A245	281	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1448`	滤光片-A262	503	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1456`	温度探头-A270	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1464`	干泵-A278	246	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1480`	安全阀-A294	95	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1488`	调整垫片-B203	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1497`	步进电机-B212	307	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1512`	压力传感器-B227	223	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1520`	冷阱-B235	282	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1530`	伺服控制板-B245	322	`C1520` 调平地脚-1520	A