LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P2319`	交叉滚子导轨-Q242	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2321`	伺服电机-Q244	323	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2343`	分子泵-Q266	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2351`	线缆束-Q274	464	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2354`	信号调理板-Q277	502	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2375`	直线导轨滑块-R298	245	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2383`	滤光片-R207	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2387`	准直透镜-R211	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2407`	接线端子-R231	391	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2415`	安全阀-R239	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2420`	防尘罩-R244	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2439`	偏振片-S263	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2447`	压力传感器-S271	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2453`	分子泵-S277	417	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2471`	遮光板-S295	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2479`	密封O圈-T204	187	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2486`	伺服电机-T211	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2503`	位移传感器-T228	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2511`	冷却盘管-T236	438	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2519`	信号调理板-T244	216	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2535`	定位销-U260	434	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2543`	编码器-U268	470	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2552`	准直透镜-U277	186	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2567`	散热翅片-U292	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2585`	防尘罩-U211	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2599`	联轴器-V225	355	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2607`	准直透镜-V233	499	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2618`	分子泵-V244	267	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2631`	气浮节流孔-V257	230	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2639`	限位开关-V265	147	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2651`	伺服电机-W277	511	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2663`	聚焦透镜-W289	358	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2671`	真空波纹管-W297	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2684`	信号调理板-W211	190	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2695`	防尘罩-W222	409	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2703`	角接触轴承-X230	255	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2727`	真空密封圈-X254	500	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2735`	储液罐-X262	284	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2750`	防尘罩-X277	513	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2759`	交叉滚子导轨-Y286	352	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2767`	分光镜-Y294	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2783`	分子泵-Y211	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2791`	线缆束-Y219	196	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2799`	减压阀-Y227	195	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2815`	直线导轨滑块-Z243	216	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2823`	滤光片-Z251	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2831`	温度探头-Z259	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2847`	接线端子-Z275	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2855`	安全阀-Z283	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2863`	调整垫片-A391	241	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2879`	偏振片-A308	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2887`	压力传感器-A316	333	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2895`	冷阱-A324	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2911`	遮光板-A340	257	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2919`	密封O圈-B348	350	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2927`	步进电机-B356	440	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2943`	位移传感器-B372	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2951`	冷却盘管-B380	351	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2959`	信号调理板-B388	169	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2975`	定位销-C305	256	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2983`	编码器-C313	277	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2991`	光纤跳线-C321	470	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0008`	角接触轴承-A108	260	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0012`	步进电机-A112	456	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0016`	反射镜片-A116	413	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0024`	场镜-A124	173	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0040`	储液罐-A140	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0048`	压力表-A148	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0056`	高精度螺栓-B156	496	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0072`	分光镜-B172	655	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0080`	保护窗-B180	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0088`	分子泵-B188	458	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0104`	减压阀-B105	511	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0112`	锁紧螺母-C113	227	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0120`	直线导轨滑块-C121	460	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0136`	温度探头-C137	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0144`	干泵-C145	432	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0152`	接线端子-C153	485	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0168`	调整垫片-D169	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0177`	步进电机-D178	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0184`	偏振片-D185	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0200`	冷阱-D102	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0210`	伺服控制板-D112	425	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0216`	遮光板-D118	302	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0240`	波片-E142	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0243`	聚焦透镜-E145	637	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0248`	位移传感器-E150	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0264`	信号调理板-E166	244	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0272`	光阑-E174	230	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0276`	高精度螺栓-F178	231	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0280`	定位销-F182	195	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0296`	光纤跳线-F198	626	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0304`	力传感器-F107	425	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0309`	干泵-F112	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0312`	散热翅片-F115	388	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0328`	挡块-F131	527	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0336`	轴承套-G139	431	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0344`	联轴器-G147	341	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0360`	加速度计-G163	422	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0368`	温控阀-G171	348	`C1520` 调平地脚-1520	A