LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P1095`	安全阀-T106	397	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1100`	防尘罩-T111	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1103`	调整垫片-U114	239	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1127`	压力传感器-U138	249	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1133`	分子泵-U144	345	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1135`	冷阱-U146	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1159`	密封O圈-V170	312	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1167`	步进电机-V178	303	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1191`	冷却盘管-V103	300	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1199`	信号调理板-V111	315	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1223`	编码器-W135	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1232`	准直透镜-W144	378	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1263`	挡块-W175	144	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1265`	防尘罩-W177	390	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1287`	准直透镜-X199	189	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1295`	加速度计-X108	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1298`	分子泵-X111	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1319`	限位开关-X132	444	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1327`	深沟球轴承-Y140	238	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1331`	伺服电机-Y144	498	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1351`	真空波纹管-Y164	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1359`	流量计-Y172	304	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1364`	信号调理板-Y177	273	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1383`	角接触轴承-Z196	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1391`	反射镜片-Z105	409	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1397`	准直透镜-Z111	181	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1415`	储液罐-Z129	288	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1423`	压力表-Z137	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1430`	防尘罩-Z144	445	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1447`	分光镜-A261	265	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1455`	保护窗-A269	199	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1463`	分子泵-A277	144	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1479`	减压阀-A293	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1487`	锁紧螺母-B202	380	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1496`	伺服电机-B211	229	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1511`	温度探头-B226	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1529`	信号调理板-B244	327	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1543`	调整垫片-C258	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1551`	伺服电机-C266	307	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1562`	准直透镜-C277	517	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1575`	冷阱-C290	403	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1583`	接插件-C298	368	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1595`	防尘罩-C211	164	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1607`	步进电机-D223	294	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1615`	波片-D231	264	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1628`	分子泵-D244	171	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1639`	信号调理板-D255	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1647`	光阑-D263	359	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1671`	光纤跳线-E287	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1679`	力传感器-E295	416	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1694`	信号调理板-E211	152	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1703`	挡块-E220	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1711`	轴承套-F228	283	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1727`	准直透镜-F244	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1735`	加速度计-F252	309	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1743`	温控阀-F260	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1760`	防尘罩-F277	329	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1767`	深沟球轴承-G284	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1775`	同步带轮-G292	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1793`	分子泵-G211	483	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1799`	流量计-G217	230	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1807`	节流阀-G225	321	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1826`	伺服电机-H244	267	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1831`	反射镜片-H249	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1839`	场镜-H257	67	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1859`	信号调理板-H277	234	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1863`	压力表-H281	218	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1871`	高精度螺栓-I289	150	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1892`	准直透镜-I211	447	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1895`	保护窗-I214	155	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1903`	分子泵-I222	206	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1927`	锁紧螺母-J246	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1935`	直线导轨滑块-J254	363	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1959`	干泵-J278	443	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1967`	接线端子-J286	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1991`	伺服电机-K211	133	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1999`	偏振片-K219	287	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2024`	信号调理板-K244	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2031`	遮光板-K251	286	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2055`	波片-L275	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2057`	准直透镜-L277	280	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2063`	位移传感器-L283	259	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2087`	光阑-L208	490	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2090`	防尘罩-L211	233	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2095`	定位销-M216	123	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2119`	力传感器-M240	462	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2123`	分子泵-M244	336	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2127`	散热翅片-M248	367	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2151`	轴承套-N272	137	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2156`	伺服电机-N277	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2159`	联轴器-N280	373	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2183`	温控阀-N205	322	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2189`	信号调理板-N211	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2191`	气浮节流孔-N213	295	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2215`	同步带轮-O237	348	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2223`	聚焦透镜-O245	311	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2247`	节流阀-O269	542	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2255`	防尘罩-O277	324	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2279`	场镜-P202	379	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P2288`	分子泵-P211	181	`C1520` 调平地脚-1520	A