LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L3	`P0071`	反射镜片-B171	136	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0079`	场镜-B179	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0087`	真空密封圈-B187	412	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0103`	压力表-B104	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0111`	高精度螺栓-C112	556	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0119`	交叉滚子导轨-C120	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0135`	保护窗-C136	325	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0143`	分子泵-C144	252	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0151`	线缆束-C152	346	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0167`	锁紧螺母-D168	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0176`	伺服电机-D177	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0183`	滤光片-D184	292	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0207`	接线端子-D109	371	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0209`	信号调理板-D111	338	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0215`	安全阀-D117	184	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0231`	伺服电机-E133	510	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0239`	偏振片-E141	495	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0242`	准直透镜-E144	453	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0247`	压力传感器-E149	444	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0263`	接插件-E165	163	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0271`	遮光板-E173	167	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0275`	防尘罩-E177	640	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0279`	密封O圈-F181	457	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0295`	波片-F197	558	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0303`	位移传感器-F106	198	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0308`	分子泵-F111	318	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0311`	冷却盘管-F114	155	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0327`	光阑-F130	331	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0335`	定位销-G138	386	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0341`	伺服电机-G144	441	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0343`	编码器-G146	492	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0359`	力传感器-G162	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0367`	散热翅片-G170	425	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0375`	伺服控制板-G178	278	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0391`	轴承套-H194	395	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0399`	联轴器-H103	453	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0407`	准直透镜-H111	540	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0423`	温控阀-H127	461	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0431`	气浮节流孔-H135	366	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0440`	防尘罩-H144	420	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0455`	同步带轮-I159	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0471`	真空波纹管-I175	498	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0473`	分子泵-I177	493	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0487`	节流阀-I191	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0495`	防尘罩-I199	497	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0503`	角接触轴承-J108	242	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0506`	伺服电机-J111	242	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0519`	场镜-J124	347	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0527`	真空密封圈-J132	483	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0535`	储液罐-J140	361	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0539`	信号调理板-J144	399	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0551`	高精度螺栓-K156	232	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0559`	交叉滚子导轨-K164	463	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0567`	分光镜-K172	132	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0572`	准直透镜-K177	512	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0583`	分子泵-K188	354	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0591`	线缆束-K196	298	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0599`	减压阀-K105	138	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0615`	直线导轨滑块-L121	270	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0623`	滤光片-L129	454	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0631`	温度探头-L137	308	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0638`	分子泵-L144	328	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0647`	接线端子-L153	411	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0655`	安全阀-L161	242	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0663`	调整垫片-M169	450	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0671`	伺服电机-M177	552	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0679`	偏振片-M185	452	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0687`	压力传感器-M193	326	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0704`	信号调理板-M111	292	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0711`	遮光板-M118	374	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0719`	密封O圈-N126	310	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0737`	准直透镜-N144	250	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0743`	位移传感器-N150	553	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0751`	冷却盘管-N158	317	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0770`	防尘罩-N177	248	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0775`	定位销-O182	207	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0783`	编码器-O190	349	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0803`	分子泵-O111	385	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0807`	散热翅片-O115	290	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0815`	伺服控制板-O123	216	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0836`	伺服电机-P144	369	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0839`	联轴器-P147	266	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0847`	准直透镜-P155	360	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0871`	气浮节流孔-P179	372	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0879`	限位开关-P187	305	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0903`	聚焦透镜-Q112	384	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0911`	真空波纹管-Q120	352	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0935`	防尘罩-Q144	235	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0943`	角接触轴承-R152	477	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0968`	分子泵-R177	424	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0975`	储液罐-R184	293	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P0999`	交叉滚子导轨-S109	263	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1001`	伺服电机-S111	201	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1007`	分光镜-S117	330	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1031`	线缆束-S141	301	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1034`	信号调理板-S144	297	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1039`	减压阀-S149	356	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1063`	滤光片-T173	237	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1067`	准直透镜-T177	414	`C1520` 调平地脚-1520	A
L3	`P1071`	温度探头-T181	275	`C1520` 调平地脚-1520	A