LITHO-001 BOM - MockTC

外部 BOM 数据集

LITHO-001 · 光刻机整机

20260808-bom1-2.json · 当前筛选 3316 行 · 共 3316 行

层级	物料编号	物料名称	数量	父级物料	版本
L0	`LITHO-001`	光刻机整机	None		A
L1	`S01`	光源系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S10`	机架与隔振基础	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S11`	Mask传送与对准系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S12`	晶圆传送与对准系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S13`	电气控制与供电系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S14`	气体与化学供应系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S15`	安全与联锁系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S02`	照明光学系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S03`	投影光学系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S04`	工件台系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S05`	掩模台系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S06`	对准与测量系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S07`	浸液系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S08`	真空与腔体系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L1	`S09`	温控冷却系统	1	`LITHO-001` 光刻机整机	A
L2	`C0101`	高功率激光器模块-101	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0201`	聚光镜组-201	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0301`	相干光调制器-301	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0401`	分光棱镜-401	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0501`	光栅测尺-501	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0601`	主物镜组-601	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0701`	补偿镜组-701	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0801`	投影镜头壳体-801	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0901`	直线电机-901	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1001`	工件台基座-1001	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1101`	掩模夹具-1101	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1201`	晶圆夹具-1201	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1301`	Z向微调台-1301	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1401`	浸液回收器-1401	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1501`	水处理单元-1501	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0110`	快门组件-110	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0210`	场镜组-210	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0310`	高NA物镜-310	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0410`	气浮导轨-410	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0510`	光栅尺读数头-510	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0610`	平衡重块-610	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0710`	掩模对准台-710	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0810`	吸盘-810	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0910`	浸液喷嘴-910	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1010`	浸液温控器-1010	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1110`	去离子水过滤器-1110	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1210`	对准望远镜-1210	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1310`	传感器支架-1310	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1410`	真空泵组-1410	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1510`	密封法兰-1510	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0111`	主物镜组-111	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0211`	补偿镜组-211	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0311`	投影镜头壳体-311	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0411`	直线电机-411	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0511`	工件台基座-511	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0611`	掩模夹具-611	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0711`	晶圆夹具-711	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0811`	Z向微调台-811	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0911`	浸液回收器-911	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1011`	水处理单元-1011	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1111`	干涉仪-1111	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1211`	标定基准板-1211	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1311`	图像采集相机-1311	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1411`	真空腔体-1411	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1511`	波纹管-1511	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0112`	场镜组-112	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0212`	高NA物镜-212	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0312`	气浮导轨-312	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0412`	光栅尺读数头-412	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0512`	平衡重块-512	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0612`	掩模对准台-612	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0712`	吸盘-712	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0812`	浸液喷嘴-812	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0912`	浸液温控器-912	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1012`	去离子水过滤器-1012	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1112`	对准望远镜-1112	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1212`	传感器支架-1212	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1312`	真空泵组-1312	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1412`	密封法兰-1412	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1512`	真空规管-1512	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0113`	补偿镜组-113	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0213`	投影镜头壳体-213	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0313`	直线电机-313	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0413`	工件台基座-413	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0513`	掩模夹具-513	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0613`	晶圆夹具-613	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0713`	Z向微调台-713	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0813`	浸液回收器-813	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0913`	水处理单元-913	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1013`	干涉仪-1013	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1113`	标定基准板-1113	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1213`	图像采集相机-1213	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1313`	真空腔体-1313	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1413`	波纹管-1413	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C1513`	冷却板-1513	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0114`	高NA物镜-114	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0214`	气浮导轨-214	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0314`	光栅尺读数头-314	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0414`	平衡重块-414	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0514`	掩模对准台-514	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0614`	吸盘-614	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0714`	浸液喷嘴-714	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0814`	浸液温控器-814	1	`S15` 安全与联锁系统	A
L2	`C0914`	去离子水过滤器-914	1	`S15` 安全与联锁系统	A